[发明专利]划线方法及划线装置

说明书

技术领域

本发明涉及适合在玻璃基板、半导体基板及太阳能电池用基板等脆性材料基板上形成划线的划线方法及划线装置。

特别是，本发明涉及在标记有对准标记的玻璃基板、半导体基板及太阳能电池用基板等脆性材料基板上，根据对准标记形成划线的划线方法及划线装置。

另外，本发明涉及用CCD照相机对定位后的脆性材料基板的对准标记进行拍摄、图像处理，计量对准标记的位置，在进行了所需的处理后进行划线动作的划线方法及划线装置。

背景技术

在专利文献1中提出了一种在标记有对准标记的玻璃基板上根据对准标记形成划线的划线装置。

专利文献1所述的划线装置将标记有对准标记的玻璃基板定位且吸附固定在工作台上，接着用设置固定在工作台上方的两台CCD照相机分别对玻璃基板上的左右两处对准标记进行拍摄，对拍摄到的对准标记的图像进行图像处理，并且对图像处理后的结果进行运算处理，而对定位后的玻璃基板的角度偏差量及位置偏差量进行计量，然后，对于角度偏差量，对工作台的旋转位置进行校正，对于位置偏差量，对工作台的Y轴位置的移动进行校正以及对划线头的X轴位置的移动进行校正，在上述这些校正作业结束后进行划线动作，对于每个新的玻璃基板都进行该校正作业及划线动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011–251900号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

另外，专利文献1所述的以往的划线装置利用被固定的CCD照相机对标记在玻璃基板上的对准标记进行拍摄，基于由CCD照相机拍摄到的对准标记的图像进行图像处理及运算处理，从而计量玻璃基板的角度偏差量及位置偏差量，将基于该偏差量的计量值校正后的来自NC装置的校正指令值发送给工作台旋转元件、工作台移动元件及划线头移动元件，进行工作台的旋转位置校正、工作台的位置校正及划线头的位置校正。但是，工作台旋转元件、工作台移动元件及划线头移动元件存在热膨胀及机械误差，因此在这种以往的划线装置中，相对于来自NC装置的校正指令值，工作台的实际的旋转量、工作台及划线头的实际的移动量有时不一致，因此为了能依据精确的定位状态进行校正，需要反复进行多次的校正作业，耗费劳力和时间，非常没有效率。

另外，在以往的划线装置中，在对玻璃基板进行的位置校正作业后的划线动作中，也因工作台、工作台旋转元件、工作台移动元件及划线头移动元件的热膨胀、机械误差的影响、以及玻璃基板的热膨胀与上述工作台及移动元件的热膨胀的差异，而在根据对准标记形成划线时，也需要进行程序校正，需要进行试划线等，耗费时间。

本发明的目的在于，提供即使在被定位在工作台上的脆性材料基板出现了位置偏差及角度偏差的状态下，也能直接在该位置偏差及角度偏差存在的状态下形成依据对准标记得到的划线，另外即使工作台、工作台移动元件及划线头移动元件存在热膨胀的差异、机械误差，也能形成依据对准标记得到的划线的划线方法及划线装置。

此外，本发明的目的还在于，提供不受脆性材料基板与划线头的移动元件的热膨胀的差异影响，能获得根据对准标记得到的划线的划线方法及划线装置。

解决技术问题所采用的技术方案