[发明专利]调制装置和电源配置

权利要求书

1.一种用于带电粒子光刻系统(100)的调制装置，该带电粒子光刻系统(100)适于产生带电粒子细射束(123)，该调制装置被配置成用于根据图案数据来调制所述带电粒子细射束并且包括：

-板状主体(106)；

-被设置在所述板状主体(106)上用于偏转所述细射束的细射束偏转器(30)的阵列；

-多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；

-多个控制电路(40、41)，设置在所述板状主体(106)上，以接收所述图案数据和供应对应的控制信号给所述细射束偏转器(30)，其中，所述控制电路(40、41)由所述多个电源终端(202至205)馈电；以及

-导电板条(201)，配置成为所述电源终端(202至205)中的一者或多者供电，

其中，所述调制装置的所述板状主体被分成狭长的射束区(51)以及狭长的非射束区(52)，所述非射束区(52)被定位成邻近所述射束区(51)，使得所述射束区(51)的一长边邻接相邻的非射束区(52)的一长边，

其中，所述细射束偏转器设置在所述射束区(51)，

其中，所述控制电路(40、41)设置在所述非射束区(52)，用于向所述细射束偏转器(30)提供控制信号；

其中，所述导电板条(201)连接至所述非射束区(52)中的一个或多个所述电源终端，所述导电板条(201)包括多个薄的导电平板，其中每个薄的导电平板的厚度与该平板的板面的面积的平方根的比值小于0.01，并且

其中，所述导电板条包括多个导电平板，它们被配置成将正向电流从电源传导至所述控制电路和细射束偏转器；以及至少一个导电平板，其被配置成将返回电流从所述控制电路和细射束偏转器传导至所述电源，其中，所述正向电流等于所述返回电流。

2.根据权利要求1所述的调制装置，其包括多个导电板条(201)，配置成为所述电源终端(202至205)供电；

其中，所述调制装置的所述板状主体被分成多个狭长的射束区(51)以及多个狭长的非射束区(52)，该非射束区(52)被定位成邻近所述射束区，使得每个射束区的一长边邻接相邻的非射束区的一长边；

其中，所述细射束偏转器按群设置，每群细射束偏转器被放置在所述射束区之一中；

其中，所述控制电路放置在所述非射束区，用于提供控制信号给所述细射束偏转器(30)，每个控制电路被放置在与所述射束区之一相邻的一个非射束区，所述射束区包含从所述控制电路接收控制信号的一个或多个所述细射束偏转器；以及

其中，所述导电板条(201)被连接至所述非射束区中的所述控制电路，每个导电板条(201)包括多个薄的导电平板(202至205)，其中，所述多个导电板条(201)形成电源配置的一部分。

3.根据权利要求1所述的调制装置，其中，每个薄的导电平板(202至205)配置成连接至各自一个所述电源终端(202至205)。

4.根据权利要求1所述的调制装置，其中，所述导电板条(201)之一中的每个导电平板均具有一个以一个或多个边终止的板面，以及所述导电平板设置成使得其板面彼此平行。

5.根据权利要求4所述的调制装置，其中，所述导电板条之一的每个薄的导电平板的板面具有相等的面积。

6.根据权利要求1所述的调制装置，其中，所述导电板条之一的每个导电平板具有相对于该导电板条的其它导电平板相同的电阻率。

7.根据权利要求1所述的调制装置，其中，所述导电板条之一的每个导电平板在其范围中的每个位置处具有相对于该导电板条的其它导电平板相同的电阻率。

8.根据权利要求1所述的调制装置，其中，每个导电平板的至少一个边适于连接至电源，以及每个平板的其他至少一个边适于连接至多个所述控制电路。

9.根据权利要求1所述的调制装置，其中，所述控制电路分布在与相邻射束区长边邻接的非射束区长边的整个长度中，其中，所述导电板条之一与非射束区中控制电路之间的连接分布在邻接相邻射束区长边的非射束区长边的整个长度上。