[发明专利]研磨材料再生方法

权利要求书

1.一种研磨材料再生方法，其从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中再生研磨材料，该使用过的研磨材料是对主成分为硅的被研磨物进行研磨而得到的，该研磨材料是选自下述研磨材料组中的至少一种，并且，该方法经由下述工序A～D再生研磨材料，

工序A：回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A；

工序B：调整该回收得到的研磨材料浆料的pH使得其换算成25℃下的pH为7～10的pH调整工序B；

工序C：向该调整过pH的研磨材料浆料中添加作为无机盐的含碱土金属元素的金属盐，使研磨材料凝聚，从母液中分离出该研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序C；

工序D：对该分离并浓缩后的研磨材料进行固液分离并进行回收的研磨材料回收工序D，

研磨材料组：氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆、氧化锆。

2.如权利要求1所述的研磨材料再生方法，其中，所述pH调整工序B中，调整该回收得到的研磨材料浆料的pH使得其换算成25℃下的pH为7.8～9.5。

3.如权利要求1或2所述的研磨材料再生方法，其中，所述分离浓缩工序C中使用的含碱土金属元素的金属盐为镁盐。

4.如权利要求1或2所述的研磨材料再生方法，其中，所述研磨材料回收工序D中，研磨材料的回收方法是利用自然沉降的倾析分离法。

5.如权利要求1或2所述的研磨材料再生方法，其中，在所述研磨材料回收工序D之后，还包括工序E：对所述回收得到的研磨材料的粒径进行调整的粒径控制工序E。