[发明专利]自动化EDS标准校准

权利要求书

1.一种实施能量色散x射线光谱学的方法，包括：

通过以下各项来使用源仪表创建库光谱：

使用源仪表的电子源和聚焦光学件朝着一个或多个元素标准指引电子束；

使用源仪表的x射线检测器获得一个或多个元素标准的能量色散x射线光谱；

根据一个或多个元素标准的光谱来创建光谱库；

通过以下各项来使用现场仪表创建具有比库光谱低的分辨率的校准光谱：

使用现场仪表的电子源和聚焦光学件朝着元素标准样本指引电子束；

使用现场仪表的x射线检测器获得元素标准样本的能量色散x射线光谱；

将元素标准样本的光谱与光谱库的元素标准相比较；

基于元素标准样本的光谱与光谱库的元素标准的比较来确定变换；

将该变换应用于光谱库以生成已校准光谱库；

通过以下各项来使用现场仪表确定未知矿物组成的样本中的元素：

使用现场仪表的电子源和聚焦光学件朝着未知矿物样本指引电子束；

使用现场仪表的x射线检测器获得未知矿物样本的能量色散x射线光谱；以及

将未知矿物样本的所获得的光谱与已校准光谱库相比较。

2.权利要求1的方法，其中，确定所述变换包括确定用于平滑化函数的系数。

3.权利要求1或权利要求2的方法，其中，应用所述变换包括应用平滑化函数。

4.权利要求3的方法，其中，应用平滑化函数包括应用高斯平滑化函数。

5.前述权利要求中的任一项的方法，还包括将库光谱存储在数据库中。

6.前述权利要求中的任一项的方法，其中，将所述变换应用于光谱库包括将高斯模糊应用于光谱库。

7.前述权利要求中的任一项的方法，还包括基于未知矿物样本的生成光谱与已校准样本库的比较通过元素分解来确定未知样本的元素组成。

8.前述权利要求中的任一项的方法，其中，获得元素标准的光谱包括在高分辨率仪表中获得元素标准的光谱，其中至少一百万x射线计数被检测。

9.前述权利要求中的任一项的方法，其中，扫描元素标准样本包括用与用于获得元素标准的光谱的高分辨率仪表相比较低分辨率的仪表来扫描元素标准样本。

10.前述权利要求中的任一项的方法，其中，在不同的矿物分析仪表上执行获得元素标准的光谱并扫描元素标准样本。

11.前述权利要求中的任一项的方法，其中，获得元素标准的光谱包括在矿物分析中获得全部72个元素的光谱。

12.前述权利要求中的任一项的方法，其中，扫描元素标准包括扫描铜。

13.前述权利要求中的任一项的方法，其中，扫描元素标准包括扫描样本保持器。

14.前述权利要求中的任一项的方法，还包括识别未知矿物样本。

15.一种对用于矿物分析的仪表进行校准的方法，包括：

使用仪表的电子束扫描元素标准样本；

使用仪表的x射线检测器获得元素标准样本的能量色散x射线光谱；

将元素标准样本的所获得的光谱与元素标准光谱的库的库值相比较，其中所述库值具有比元素标准样本的所获得的光谱高的分辨率；

根据元素标准样本的所获得的光谱与库值的比较来生成校准系数；以及

将校准系数应用于元素标准光谱的库以生成元素标准光谱的已校准库。

16.权利要求15的方法，其中，将校准系数应用于元素标准光谱库包括将高斯模糊应用于元素标准光谱。

17.权利要求15或权利要求16的方法，其中，在与正在校准的仪表不同的仪表上获得元素标准光谱库。

18.权利要求15-17中的任一项的方法，其中，元素标准光谱库包括来自用于矿物分析的72个矿物的光谱。

19.权利要求15-18中的任一项的方法，还包括：

将未知矿物样本加载到仪表中；

生成未知样本光谱；

将生成的未知样本光谱与元素标准光谱的已校准库相比较；以及

确定未知样本的元素组成。

20.一种用于确定未知样本的组成的系统，包括：

电子源，用于形成电子束；

聚焦光学件，用于使电子束聚焦到样本上；

x射线检测器，用于检测在电子束撞击时从样本发射的x射线；

计算机可读存储器，其存储：

对应于多个元素的库x射线光谱；

计算机指令，用于：

将从已知元素获取的光谱与已知元素的库光谱相比较，其中已知元素的库x射线光谱具有比从已知元素获取的光谱高的分辨率；

确定从已知元素获取的光谱与已知元素的库光谱之间的变换；

将该变换应用于库x射线光谱中的所有光谱以确定校准光谱；

将未知组成的材料的光谱与校准光谱相比较以确定未知材料的组成。