[发明专利]显像液的处理装置和处理方法

权利要求书

1.具备通过离心将显像处理后的显像液分离为澄清液和残渣的离心机和将所述澄清液脱泡并排出的脱泡装置的显像液的处理装置，其中，所述显像液的处理装置具备：

所述离心机，

贮存所述澄清液的第1罐，

将所述第1罐内的澄清液脱泡并排出的所述脱泡装置，

将从所述脱泡装置排出的澄清液与未使用的显像液混合并贮存的第2罐，和

将从所述第2罐溢出的澄清液从所述第1罐的上方供给至所述第1罐的单元，

其中，在所述第1罐中贮存的澄清液的液面与在所述第2罐中贮存的澄清液的液面的高低差为5cm以上。

2.具备通过离心将显像处理后的显像液分离为澄清液和残渣的离心机和将所述澄清液脱泡并排出的脱泡装置的显像液的处理装置，其中，所述显像液的处理装置具备：

所述离心机，

贮存所述澄清液的第1罐，

将所述第1罐内的澄清液脱泡并排出的所述脱泡装置，

将从所述脱泡装置排出的澄清液与未使用的显像液混合并贮存的第2罐，和

将从所述第1罐溢出的澄清液从所述第2罐的上方供给至所述第2罐的单元，

其中，在所述第1罐中贮存的澄清液的液面与在所述第2罐中贮存的澄清液的液面的高低差为5cm以上。

3.如权利要求1或2所述的显像液的处理装置，其中，所述第1罐与所述第2罐以夹持隔板的状态毗邻。

4.如权利要求3所述的显像液的处理装置，其中，从所述第1罐或所述第2罐溢出的澄清液沿着所述隔板流动，供给至另一个罐。

5.如权利要求1或2所述的显像液的处理装置，其中，从所述第1罐或所述第2罐的上方供给的澄清液的垂直方向的流速为15cm/s以上。

6.如权利要求1或2所述的显像液的处理装置，其中，从所述脱泡装置排出的澄清液的气泡率为10%以下。

7.使用如权利要求1或2所述的显像液的处理装置的显像液的处理方法，其中，所述方法具备：

将显像处理后的显像液离心以分离得到澄清液与残渣的离心工序，和

将所述澄清液脱泡以得到脱泡显像液的脱泡工序。

8.如权利要求7所述的显像液的处理方法，其中，所述方法具备：

将所述脱泡显像液与未使用的显像液混合以得到混合显像液的混合工序，和

将所述混合显像液的一部分供给至所述显像处理、将所述混合显像液的一部分从所述脱泡前的所述澄清液的上方供给至所述脱泡工序的回流工序。