[发明专利]固定侧部件及真空泵

权利要求书

1. 一种固定侧部件，用于真空泵的第1气体移送机构，所述真空泵具备形成有吸气口和排气口的外装体、配设在所述外装体的内侧的固定部、被所述外装体内包且旋转自如地被支承的旋转轴、和固定在所述旋转轴上的旋转体，其特征在于，

所述固定侧部件用热传导率值比第2部件小的第1部件制造，所述第2部件是所述外装体和所述固定部中与所述固定侧部件接触的部件。

2. 如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，

所述第1部件是热传导率值比第3部件小的部件，所述第3部件是所述旋转体中与所述固定侧部件对置的部件。

3. 如权利要求2所述的固定侧部件，其特征在于，

所述第3部件是铝或铝合金。

4. 如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，

所述第1部件是不锈钢。

5. 如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，

所述第1部件是聚醚酰亚胺、聚醚醚酮中的任意1种。

6. 如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，

所述第1部件是强化纤维塑料。

7. 如权利要求1～6中任一项所述的固定侧部件，其特征在于，

所述固定侧部件由至少包括两个零件的零件群构成。

8. 如权利要求7所述的固定侧部件，其特征在于，

所述零件群中与所述第2部件接触的零件用所述第1部件制造。

9. 如权利要求7或8所述的固定侧部件，其特征在于，

所述零件群中与所述第3部件对置的零件用所述第1部件制造。

10. 如权利要求1～9中任一项所述的真空泵，其特征在于，

具备所述外装体、所述固定部、所述旋转轴、所述旋转体和所述固定侧部件。

11. 如权利要求10所述的真空泵，其特征在于，

所述真空泵还具备第2气体移送机构，所述第2气体移送机构具有旋转翼和固定翼，通过所述旋转翼和所述固定翼的相互作用将从所述吸气口吸入的气体向所述排气口移送，所述旋转翼从所述旋转体的外周面以放射状配设，所述固定翼从所述固定部的内侧侧面朝向所述旋转轴突出地配设。