[发明专利]固定侧部件及真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵。详细地讲，涉及热传导率值比既定的值小的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵。

背景技术

在种类各种各样的真空泵中，为了实现高真空的环境而较多采用的有涡轮分子泵及螺纹槽式泵。在通过使用涡轮分子泵或螺纹槽式泵等的真空泵进行排气处理而将内部保持为真空的真空装置中，有半导体制造装置用的腔室、电子显微镜的测量室、表面分析装置、微细加工装置等。

实现该高真空的环境的真空泵具备形成外装体的壳体，该外装体具备吸气口及排气口。并且，在该壳体的内部，收纳有使该真空泵发挥排气功能的构造物。发挥该排气功能的构造物大体上分，由旋转自如地被支承的旋转部（转子部）和相对于壳体固定的固定部（定子部）构成。

在涡轮分子泵的情况下，旋转部由旋转轴及固定在该旋转轴上的旋转体构成，在旋转体上，多层地配设有以放射状设置的转子翼（动翼）。此外，在固定部上，相对于转子翼相互交替地多层地配设有定子翼（静翼）。此外，设有用来使旋转轴高速旋转的马达，旋转轴借助该马达的作用而高速旋转时，通过转子翼和定子翼的相互作用将气体从吸气口吸入，从排气口排出。

可是，在这样的涡轮分子泵或螺纹槽式泵等的真空泵中，包含在真空容器内产生的颗粒（例如几μm～几百μm尺寸的粒子）的排出气体也被从吸气口吸入，该颗粒例如是由在半导体制造装置用的腔室中产生的反应生成物构成的微粒子等。根据配设于真空泵的真空装置的工艺，不可避免地发生该被称作颗粒的悬浮物作为生成物（堆积物）附着在真空泵的内部的情况。此外，还有这样排出的排出气体也对应于升华曲线（蒸气压曲线）固化而成为生成物的情况。特别是，这样的生成物堆积在气体的压力较高的排气口附近而固化的情况较多。即使在真空泵旋转的过程中没有问题，也存在下述情况：残留在真空泵内的气体在旋转停止的时候冷却，从而生成物成长，真空泵的旋转体与生成物固结。如果这样生成物向排气口附近的堆积发展，则气体流路会变窄，背压变高。结果，真空泵的排气性能会显著地下降。

此外，真空泵的旋转体一般用铝或铝合金等金属材料制造，其转速通常是20000rpm～90000rpm，旋转翼的前端处的圆周速度达到200m/s～400m/s。因此，有真空泵的转子部（特别是转子翼）热膨胀、或发生随着使用时间的经过在径向上发生应变的蠕变现象的情况。关于这样的真空泵的热膨胀或蠕变现象，膨胀或应变的程度在旋转体的下侧（排气口侧）比上侧（吸气口侧）更大，所以有膨胀的旋转体和堆积的生成物特别是在排气口侧接触的情况。此外，例如在配设于真空泵的装置是半导体制造装置用的腔室的情况下，由于半导体制造用的晶片的主原料是硅，所以有堆积的生成物变得比用铝或铝合金制造的旋转体更硬的情况。并且，如果这样的生成物与如上述那样高速旋转的旋转体接触，则硬度较小的旋转体会损坏，在最坏的情况下有可能真空泵的功能停止。

这样，在真空泵内，真空泵的一部分接触到堆积在气体的压力及温度较高的排气口附近的生成物，从而在真空泵中会产生性能的下降及旋转翼的损坏等问题。因此，为了将附着的生成物除去，需要定期地进行将装置暂时分解并精心清洗的检修。

专利文献1：日本特开平09－310696号公报。

为了防止如上述那样气体冷凝而导致生成物堆积，以往提出了下述技术：通过在壳体外部或静止壁（定子部分）上卷绕加热器等并加热，来保持生成物不固化的温度。在专利文献1中公开了一种分子泵，通过在排气内侧管的周围设置加热用加热器，将排气内侧管加热到120度，防止工艺气体冷凝、堆积到排气内侧管的排气通路内。此外，还公开了通过配设隔热件来将定子隔热地卡止的技术。

但是，在专利文献1中，由于是在排气内侧管的周围设置加热用加热器的结构，所以在必须保持真空的真空泵中会出现有关加热用加热器的配线的问题。此外，在该结构中，由于不是将本来想要加热的气体本身直接加热，所以还有不能高效地加热的问题。

以下对使用隔热件的技术进行说明。图7是用来说明使用隔热件90的以往的真空泵500的一例的整体图。