[发明专利]驱动系统和驱动方法、以及曝光装置和曝光方法

权利要求书

1.一种驱动系统，其赋予操作量来驱动控制对象，该驱动系统具备：

第一测量器，其测量与所述控制对象的第一部分的位置相关的第一控制量；

第二测量器，其测量与表示包含谐振模式的行为的所述控制对象的第二部分的位置相关的第二控制量，该谐振模式相对于所述第一部分表示的刚体模式反相；以及

控制部，其使用所述第一测量器的所述第一控制量的测量结果X₁、所述第二测量器的所述第二控制量的测量结果X₂以及比例增益α、β来求出合成量X_c＝αX₂+βX₁，并进行将所述合成量经由第一滤波器F₁的值和所述第一控制量以及第二控制量的一方的测量结果经由第二滤波器F₂的值合成的滤波处理来求出第三控制量X_mix＝F₁(X_c)+F₂(X₂、X₁)，并将使用该第三控制量求出的所述操作量赋予所述控制对象。

2.根据权利要求1所述的驱动系统，其中，

以与所述第一部分以及第二部分对应且表示相对于所述操作量的所述第一控制量的传递函数P₁、表示相对于所述操作量的所述第二控制量的传递函数P₂分别包含的与所述谐振模式对应的极点在传递函数αP₂+βP₁中被抵消的方式，来决定所述比例增益α、β。

3.根据权利要求2所述的驱动系统，其中，

使用将所述第一部分以及第二部分的运动表现为由弹簧或者由弹簧和减震器连结的至少两个以上的刚体的运动的力学模型来赋予所述传递函数P₂以及所述传递函数P₁的具体形式。

4.根据权利要求1所述的驱动系统，其中，

所述控制部对所述合成量和所述一方的测量结果进行滤波处理，合成所述合成量的存在所述谐振模式的频带、和所述一方的测量结果的不存在所述谐振模式的频带，求出所述第三控制量。

5.根据权利要求4所述的驱动系统，其中，

所述控制部分别经由作为所述第一滤波器的高通滤波器F₁和具有与该高通滤波器相同的截止频率且作为所述第二滤波器的低通滤波器F₂而合成所述合成量和所述一方的测量结果，求出所述第三控制量X_mix＝F₁(X_c)+F₂(X₂、X₁)。

6.一种曝光装置，其利用能量束来曝光物体并在所述物体上形成图案，

该曝光装置具备权利要求1～5中任意一项所述的驱动系统，

所述控制对象为保持所述物体并在规定面上移动的移动体。

7.根据权利要求6所述的曝光装置，其中，

所述移动体具有：保持所述物体并移动的第一移动体、和保持该第一移动体并在所述规定面上移动的第二移动体，

所述控制对象的所述第一部分以及第二部分分别包含于所述第一移动体以及第二移动体。