[发明专利]振动致动器单元、光学装置以及台装置

权利要求书

1.一种振动致动器单元，具备：

电机械变换元件，其将被施加的驱动电压的电振动变换为机械振动；和

抵接部，其与驱动对象的被驱动面抵接，将所述电机械变换元件的机械振动作为驱动力传递到所述被驱动面，

所述电机械变换元件，当被输入了相位不同的驱动电压时，在与所述被驱动面交叉的第一振动面内使所述抵接部振动，且在与所述第一振动面交叉的第二振动面内使所述抵接部振动，

所述电机械变换元件具有包括在共同的方向上极化的多个区域的压电材料块，

所述多个区域包括在与极化轴方向交叉且沿着所述第一振动面的方向上配置的两个区域和在与所述极化轴方向交叉且沿着所述第二振动面的方向上配置的两个区域。

2.根据权利要求1所述的振动致动器单元，

所述电机械变换元件具备：一对电极，其沿着所述第一振动面配置，对压电材料施加独立的驱动电压；和另一对电极，其沿着所述第二振动面配置，对压电材料独立地施加驱动电压。

3.根据权利要求1所述的振动致动器单元，

所述压电材料块包括在与所述极化轴方向交叉的面内在周向上将所述压电材料块分割为4份而得到的4个所述区域，

所述电机械变换元件具有：

4个电极，其对所述4个区域独立地供给驱动电压，

通过将各自以固有的相位进行振动的驱动电压供给到所述4个电极，使所述压电材料块复合性地产生所述第一振动面内的振动和所述第二振动面内的振动。

4.根据权利要求1所述的振动致动器单元，

所述电机械变换元件具有：

六面体的压电材料块，其具有在预先设定的共同的方向上极化、各自包含8个顶点中的1个顶点的8个区域；和

4组电极，其对所述8个区域中位于对角的一对区域施加共同的驱动电压，

通过将各自以固有的相位进行振动的驱动电压供给到所述4组电极，使所述压电材料块复合性地产生所述第一振动面内的振动和所述第二振动面内的振动。

5.根据权利要求1所述的振动致动器单元，

所述电机械变换元件具备：

压电材料块，其包括在预先设定的共同的方向上极化、排列在极化轴方向上的第一区域和第二区域；

一对第一电极，其在被供给了振动的相位不同的第一驱动电压的情况下，使所述第一驱动电压作用于所述第一区域，在所述第一区域中使所述压电材料块产生所述第一振动面内的振动；以及

一对第二电极，其在被供给了振动的相位不同的、与第一驱动电压不同的第二驱动电压的情况下，使所述第二驱动电压作用于所述第二区域，在所述第二区域中使所述压电材料块产生所述第二振动面内的振动。

6.一种台装置，具备权利要求1～5中任一项所述的振动致动器单元。

7.一种光学装置，具备权利要求1～5中任一项所述的振动致动器单元。

8.一种振动致动器单元，具备：

电机械变换元件，其将被供给的驱动电力变换为机械振动；

接触部，其被从所述电机械变换元件传递机械振动来驱动驱动对象物；

作用力产生部，其产生朝向所述驱动对象物对所述接触部施力的作用力；以及

位置检测部，其基于成为所述作用力产生部所产生的作用力的物理量的变化，检测所述驱动对象物和所述电机械变换元件的相对位置；

所述作用力产生部，包括在与所述电机械变换元件和所述驱动对象物的某一方一起移动的同时、产生磁力的磁力产生部，

所述位置检测部，基于所述磁力产生部所产生的磁场的磁通量密度的变化来检测所述相对位置。