[发明专利]振动致动器单元、光学装置以及台装置

说明书

一种振动致动器单元，具备：电机械变换元件，其将被施加的驱动电压的电振动变换为机械振动；和抵接部，其与驱动对象的被驱动面抵接，将电机械变换元件的机械振动作为驱动力传递到被驱动面，电机械变换元件在与被驱动面交叉的第一振动面内周期性弯曲而使抵接部在第一振动面内振动，且在与第一振动面交叉的第二振动面内周期性弯曲而使抵接部在第二振动面内振动。

技术领域

本发明涉及振动致动器单元、光学装置以及台装置。

背景技术

存在使台(stage)二维地移动的台装置(例如，参照专利文献1)。 另外，存在设置标尺和编码器而根据检测到的移位信号来控制驱动信号的 驱动装置(例如，参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开平11-316607号公报

专利文献2：日本特开2011-147266号公报

发明内容

发明要解决的问题

由于在X方向驱动和Y方向驱动中分别具备致动器，所以装置规模大。 成本和空间因素因标尺和编码器的附加而上升。

用于解决问题的手段

根据本发明的第一技术方案，提供一种振动致动器单元，具备：电机 械变换元件，其将被施加的驱动电压的电振动变换为机械振动；和抵接部， 其与驱动对象的被驱动面抵接，将电机械变换元件的机械振动作为驱动力 传递到被驱动面，电机械变换元件在与被驱动面交叉的第一振动面内周期 性地弯曲而使抵接部在第一振动面内振动，且在与第一振动面交叉的第二 振动面内周期性地弯曲而使抵接部在第二振动面内振动。

根据本发明的第二技术方案，提供一种具备上述振动致动器单元的光 学装置。另外，根据本发明的第三技术方案，提供一种具备上述振动致动 器单元的台装置。

根据本发明的第四技术方案，提供一种振动致动器单元，具备：电机 械变换元件，其将被供给的驱动电力变换为机械振动；接触部，其被从电 机械变换元件传递机械振动来驱动驱动对象物；作用力产生部，其产生朝 向驱动对象物对接触部施力的作用力；以及位置检测部，其基于成为作用 力产生部所产生的作用力的物理量的变化，检测驱动对象物和电机械变换 元件的相对位置。

根据本发明的第五技术方案，提供一种具备上述振动致动器单元的光 学装置。另外，根据本发明的第六技术方案，提供一种具备上述振动致动 器单元的台装置。

上述发明内容没有列举本发明所需的所有特征。这些特征群的亚组合 也可以成为发明。

附图说明

图1是台装置101的示意剖视图。

图2是振动致动器单元201的示意性的分解立体图。

图3是振动致动器单元201的示意侧视图。

图4是示出振动致动器单元201的驱动信号波形的图。

图5是振动致动器单元201的示意侧视图。

图6是示出振动致动器单元201的构造的示意图。

图7是示出振动致动器单元201的驱动信号波形的图。

图8是振动致动器单元201的示意侧视图。

图9是台装置102的示意剖视图。

图10是振动致动器单元202的示意性的分解立体图。

图11是示出振动致动器单元202的驱动信号波形的图。

图12是示出振动致动器单元202的驱动信号波形的图。

图13是台装置103的示意剖视图。