[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法

说明书

在该信息记录介质用玻璃基板的制造方法中，在向研磨垫(410)供给浆液的状态下，研磨垫(410)对玻璃基板(1)的吸附力在0.50g/cm²以上且15g/cm²以下。

技术领域

本发明涉及信息记录介质用玻璃基板的制造方法。

背景技术

以往，在用于计算机等的信息记录介质(磁盘记录介质)中，使用了铝基板或玻璃基板。在这些基板上形成有磁性薄膜层，利用磁头使磁性薄膜层磁化，由此在磁性薄膜层中记录信息。

近年来，在硬盘驱动器(HDD)装置中，记录密度愈发高密度化。因记录密度的高密度化，信息记录介质(介质)与在信息记录介质上浮起并进行记录的读写的磁头之间的间隙(飞行高度)缩小至几nm左右。

随着浮起高度变小，在将信息记录介质用于硬盘驱动器装置中的情况下，容易发生访问记录于介质中的数据时的读取错误和/或写入错误、及磁头碰撞介质表面的磁头碰撞等问题。为了抑制这些问题，作为信息记录介质而被容许的基板表面的缺陷的大小也进一步减小，因此，作为信息记录介质用玻璃基板也追求更高的表面平滑性，为了抑制附着在玻璃基板表面的异物、玻璃基板表面的起伏，对制造方法进行了各种钻研。

另一方面，近年来，HDD的存储容量被进一步提高，目前开发出具有如下记录密度的装置：在一张2.5英寸的记录介质中，记录容量为500GB(单面250GB)、面记录密度为630Gbit/平方英寸以上。

在信息记录介质用玻璃基板的制造工序中采用了使用双面研磨装置来研磨玻璃基板的表面的工序。例如，在日本特开2005－8353号公报(专利文献1)中使用了具有用于从载置在下侧平台上的下侧研磨垫回收研磨后的玻璃基板的特殊结构的工具。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-8353号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在使用上述工具从下侧平台上的下侧研磨垫取出研磨后的玻璃基板时，有时玻璃基板牢固地吸附在下侧研磨垫上。若下侧研磨垫吸附玻璃基板的吸附力大，则在从下侧研磨垫上取出玻璃基板时需要较大的力，因此，在使用取出器具的情况下，担心由该器具引起的污渍重新附着在玻璃基板上。

在对污渍附着的状态下的玻璃基板进行了信息记录介质(磁盘)化之后，会导致记录特性的下降。

从下侧研磨垫取出玻璃基板时的较大的力施加给下侧研磨垫和下侧平台，担心对下侧研磨垫和下侧平台造成损伤。

若下侧研磨垫和下侧平台产生损伤，则在使用下侧研磨垫和下侧平台而研磨后的玻璃基板上产生划痕等缺陷，在进行了信息记录介质化之后，会导致记录特性的下降。在双面研磨装置中，上侧研磨垫和上侧平台也可能产生相同的问题。

本发明就是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，所述信息记录介质用玻璃基板的制造方法能够提供一种在对信息记录介质用玻璃基板进行了信息记录介质化之后，不会导致记录特性的下降的信息记录介质用玻璃基板。

用于解决问题的手段

基于本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法是一种使用研磨装置的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，所述研磨装置在平台上安装有由含有多个发泡孔的部件构成的研磨垫，并使用上述研磨垫对玻璃基板的表面进行研磨，所述信息记录介质用玻璃基板的制造方法包括以下的工序。

包括：在上述平台上载置上述玻璃基板的工序；利用上述研磨装置一边向上述玻璃基板供给液体状研磨剂一边对上述玻璃基板的表面进行研磨的工序；以及从上述平台取出研磨后的上述玻璃基板的工序。