[发明专利]用于工件分离的方法及装置及借此制造的物品

权利要求书

1.一种方法，该方法包括：

提供一工件，其具有一第一表面、与该第一表面相对的一第二表面以及该第一表面与该第二表面之间的一内部；

产生一聚焦的激光脉冲射束，该聚焦的激光脉冲射束是以束腰为特征，其中该束腰在该射束内的激光脉冲能达到一第一通量之处；以及

该工件内形成多个修改区，各修改区的形成是自该工件的该第二表面开始且自该工件的该第二表面延伸至该内部中，其中形成该多个修改区中的各修改区包括：

将该激光脉冲射束导引至该工件上，以使得该射束内的激光脉冲穿过该工件的该第一表面进入该内部中并朝向该第二表面，在引起该工件与该激光脉冲射束之间的相对运动的同时，修改该工件的多个部分，以使得该工件的该多个部分中的至少一个部分是在该工件的该第二表面处，且使得该工件的至少一修改部分是利用以小于该第一通量但足以修改该工件的额外部分的通量为特征的一激光脉冲照射；以及

在以一激光脉冲照射该工件的该至少一修改部分之后，修改该激光脉冲射束的特征，使得该工件的至少一修改部分不是利用以足以修改该工件的一部分的通量为特征的一激光脉冲照射。

2.如权利要求1的方法，其进一步包括基于该激光束的特征测定修改区应延伸到该工件的该内部中的一深度。

3.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括脉冲重复率。

4.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括脉冲强度。

5.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括脉冲通量。

6.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括空间脉冲斑点形状。

7.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括脉冲斑点大小。

8.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括沿着该激光脉冲碰撞到该工件的该第一表面处的一光轴的方位。

9.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括脉冲持续时间。

10.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括瞬态脉冲形状。

11.如权利要求1的方法，其中该射束的该特征包括脉冲波长。

12.如权利要求1的方法，其中该射束内的至少一个激光脉冲以具有一非圆形形状的一斑点碰撞该第一表面。

13.如权利要求1的方法，其中该工件包括一强化玻璃工件。

14.如权利要求1的方法，其中该射束内的至少一个激光脉冲包括具有在可见光谱中的绿色范围中的一波长的光。

15.如权利要求1的方法，其中该激光脉冲射束具有大于10％的一工作周期。

16.如权利要求15的方法，其中该激光脉冲射束具有小于50％的一工作周期。

17.如权利要求1的方法，其中该修改区中的至少一者自该工件的该第二表面延伸至该工件中达到一高度，该高度大于该工件厚度的30％。

18.如权利要求17的方法，其中该修改区中的至少一者自该工件的该第二表面延伸至该工件中达到一高度，该高度小于该工件厚度的60％。

19.如权利要求1的方法，其中该激光脉冲中的至少一者具有大于18ns的一脉冲持续时间。

20.如权利要求1的方法，其中该激光脉冲中的至少一者具有小于20ns的一脉冲持续时间。