[发明专利]调度表生成装置以及方法、基板处理装置以及方法

权利要求书

1.一种调度表生成装置，用于生成基板处理装置的控制调度表，该控制调度表包括搬运处理的调度表，该搬运处理指，利用规定的搬运单元将被多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运的处理，

该调度表生成装置的特征在于，

具有比较单元和选择性调度表生成单元，

该比较单元针对在先基板和在后基板相互比较第1判定用时刻值和第2判定用时刻值，

所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，

在将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第1处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元时，

所述第1判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，

所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；

在所述第1判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据，

在所述第2判定用时刻比所述第1判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。

2.根据权利要求1所述的调度表生成装置，其特征在于，

所述比较单元代替所述第1判定用时刻值采用表示第一特定时刻的时刻值作为所述第1判定用时刻值，该第一特定时刻指，比通过所述处理部对所述在先基板进行的处理结束的时刻延迟包含往返所需时间的时间的时刻，

所述比较单元代替所述第2判定用时刻值采用表示第二特定时刻的时刻值作为所述第2判定用时刻值，该第二特定时刻指，通过所述处理部对所述在后基板进行的处理结束的时刻。

3.根据权利要求2所述的调度表生成装置，其特征在于，

在通过所述多个处理单元进行的处理结束的基板被所述搬运单元保持为止的期间，存在需要规定的中间处理时间的中间处理，

所述中间处理是不能对两张以上的基板同时执行，仅能够依次逐张地对基板执行的排他性处理，

将通过所述第1处理单元对所述在先基板进行的处理结束的预计时刻作为第1处理结束预计时刻，

将通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束的预计时刻作为第2处理结束预计时刻，

所述比较单元基于与所述第1处理结束预计时刻相比延迟包含所述中间处理时间和所述往返所需时间的时间的时刻，确定所述第1判定用时刻值，

所述比较单元基于所述第2处理结束预计时刻，确定所述第2判定用时刻值。

4.根据权利要求3所述的调度表生成装置，其特征在于，

所述搬运单元具有多个基板保持单元，

所述多个基板保持单元能够分别从所述多个处理单元一次取出一张基板，

所述中间处理是从所述多个基板保持单元所对应的处理单元取出基板的处理。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的调度表生成装置，其特征在于，

预先将所述调度表中的针对各基板的各单位工序的时间长度规定为时间区段，

所述选择性调度表生成单元具有：

确定候补确定单元，从基本调度表中以开始预计时刻早的顺序选择各区段作为确定候补区段，该基本调度表是，连续排列与针对所述在先基板和所述在后基板进行的一系列工序相对应的时间区段而生成的时序，

确定单元，基于所述在先基板和所述在后基板各自的时间区段相互间的规定的配置条件，确定所述确定候补区段的配置时间段；

所述确定单元基于所述第1判定用时刻值与所述第2判定用时刻值的比较结果，确定所述确定候补区段的配置时间段。