[发明专利]调度表生成装置以及方法、基板处理装置以及方法

说明书

技术领域

本发明涉及对基板处理的流程进行计划的调度表生成装置、调度表生成程序、具有该调度表生成装置的基板处理装置、调度表生成方法以及基板处理方法。

背景技术

具有多种对基板进行处理的基板处理装置。例如，专利文献1的基板处理装置，经由基板翻转单元以及基板载置部将对未处理基板以及已处理基板进行收集的分度器部、对基板进行清洗等处理的处理部连接。在分度器部以及处理部分别配置各部专用的搬运机械手。

在专利文献1中公开了具有独立被驱动来前进或后退的两个臂部的分度器部用搬运机械手(主机械手)。另外，在该两个臂部各自的顶端设置有基板保持手部，该基板保持手部能够保持两张基板，因此共计能够搬运4张基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2010-45214号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在该文献中，没有公开在一系列的基板处理中主机械手在哪个时刻应该访问哪个处理单元。因此，在一系列的基板处理中，不能够确切地根据状况设定各基板的搬运调度表。

本发明是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于提供一种在一系列的基板处理中，能够确切地根据状况设定各基板的搬运调度表，来提高基板处理装置的生产率的技术。

用于解决问题的手段

为了解决上述的问题，第1方式的调度表生成装置，用于生成基板处理装置的控制调度表，该控制调度表包括搬运处理的调度表，该搬运处理指，利用规定的搬运单元将被多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运的处理，该调度表生成装置的特征在于，具有比较单元和选择性调度表生成单元，该比较单元针对在先基板和在后基板相互比较第1判定用时刻值和第2判定用时刻值，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，在将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第1处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元时，所述第1判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；在所述第1判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据，在所述第2判定用时刻比所述第1判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。

第2方式的调度表生成装置，在第1方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述比较单元代替所述第1判定用时刻值采用表示第一特定时刻的时刻值作为所述第1判定用时刻值，该第一特定时刻指，比通过所述处理部对所述在先基板进行的处理结束的时刻延迟包含往返所需时间的时间的时刻，所述比较单元代替所述第2判定用时刻值采用表示第二特定时刻的时刻值作为所述第2判定用时刻值，该第二特定时刻指，通过所述处理部对所述在后基板进行的处理结束的时刻。

第3方式的调度表生成装置，在第2方式的调度表生成装置中，其特征在于，在通过所述多个处理单元进行的处理结束的基板被所述搬运单元保持为止的期间，存在需要规定的中间处理时间的中间处理，所述中间处理是不能对两张以上的基板同时执行，仅能够依次逐张地对基板执行的排他性处理，将通过所述第1处理单元对所述在先基板进行的处理结束的预计时刻作为第1处理结束预计时刻，将通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束的预计时刻作为第2处理结束预计时刻，所述比较单元基于与所述第1处理结束预计时刻相比延迟包含所述中间处理时间和所述往返所需时间的时间的时刻，确定所述第1判定用时刻值，所述比较单元基于所述第2处理结束预计时刻，确定所述第2判定用时刻值。

第4方式的调度表生成装置，在第3方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述搬运单元具有多个基板保持单元，所述多个基板保持单元能够分别从所述多个处理单元一次取出一张基板，所述中间处理是从所述多个基板保持单元所对应的处理单元取出基板的处理。