[发明专利]氮化硅质烧结体及加热装置以及吸附装置

权利要求书

1.一种氮化硅质烧结体，其特征在于，具有氮化硅的结晶、MgRE₄Si₃O₁₃的结晶(RE为稀土元素)、和REMgSi₂O₅N的结晶。

2.如权利要求1所述的氮化硅质烧结体，其特征在于，含有80质量％以上的所述氮化硅而成，利用X射线衍射法求得的衍射角31°～34°处的所述MgRE₄Si₃O₁₃的结晶的峰强度I₁相对于衍射角27°～28°处的所述氮化硅的结晶的峰强度I₀的比率(I₁/I₀×100)为2％以上且9％以下。

3.如权利要求1或权利要求2所述的氮化硅质烧结体，其特征在于，在表层中散布有包含铁和硅的第1化合物，当量圆直径为0.05μm以上且5μm以下的所述第1化合物的个数在每1mm²中为2.0×10⁴个以上且2.0×10⁵个以下。

4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的氮化硅质烧结体，其特征在于，在表层中散布有包含钨和硅的第2化合物，当量圆直径为0.05μm以上且5μm以下的所述第2化合物的个数在每1mm³中为2.0×10⁴个以上且2.0×10⁵个以下。

5.一种加热装置，其特征在于，具备加热器、和内包该加热器进行保护的保护管而成，所述保护管包含权利要求1至权利要求4中任一项所述的氮化硅质烧结体。

6.一种吸附装置，其特征在于，具备具有吸附孔的吸附构件、支承该吸附构件的支承构件而成，所述吸附构件包含权利要求1至权利要求4中任一项所述的氮化硅质烧结体。