[发明专利]光固化性组合物和膜的制造方法有效
申请号: | 201380052636.4 | 申请日: | 2013-09-20 |
公开(公告)号: | CN104737271B | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 伊藤俊树;三原知恵子;松藤奈央子;北川健司 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027;B29C59/02;C08K5/435;C08L33/00 |
代理公司: | 北京魏启学律师事务所11398 | 代理人: | 魏启学 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光固化 组合 制造 方法 | ||
1.一种光固化性组合物,其特征在于,所述光固化性组合物在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜,所述光固化性组合物包括:
聚合性化合物;
光聚合引发剂;和
具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂,
其中所述感光性气体产生剂具有包括至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体,
所述光固化性组合物进一步包括氟系表面活性剂。
2.根据权利要求1所述的光固化性组合物,其中所述感光性气体产生剂包括由以下通式(2)表示的化合物:
RG1-XA-(O-RA-)n-XB-RG1'(2)
其中,在所述式(2)中,RG1和RG1'各自表示用作所述光刺激响应部位的单价官能团并且任选地彼此相同或不同;XA和XB各自表示二价连接基团并且任选地彼此相同或不同;RA表示二价亚烷基;并且n是1以上的整数。
3.根据权利要求1所述的光固化性组合物,其中所述感光性气体产生剂包括由以下通式(3)表示的化合物:
YA(-RA-O)n-XA-RG2-XB-(O-RB-)mYB(3)
其中,在所述式(3)中,RG2表示用作所述光刺激响应部位的二价官能团;RA和RB各自表示二价亚烷基并且任选地彼此相同或不同;m和n各自是1以上的整数;XA和XB各自表示二价连接基团并且任选地彼此相同或不同;并且YA和YB各自表示单价取代基并且任选地彼此相同或不同。
4.根据权利要求1所述的光固化性组合物,其中所述感光性气体产生剂包括由以下通式(5)表示的化合物:
其中,在所述式(5)中,R1和R2各自表示烷基或氢原子并且任选地彼此相同或不同,并且n是1以上的整数。
5.一种光固化性组合物,其特征在于,所述光固化性组合物在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜,所述光固化性组合物包括:
聚合性化合物;
光聚合引发剂;和
具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂,
其中所述感光性气体产生剂具有包括至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体,
所述光固化性组合物进一步包括氟系表面活性剂,
其中所述感光性气体产生剂与所述聚合性化合物的总量的配混比是10重量%以上,并且
所述氟系表面活性剂与所述聚合性化合物的总量的配混比是0.005至3重量%。
6.根据权利要求5所述的光固化性组合物,其中所述感光性气体产生剂包括由以下通式(1)表示的化合物:
RG1-XA-(O-RA-)nYA(1)
其中,在所述式(1)中,RG1表示用作所述光刺激响应部位的单价取代基;XA表示二价连接基团;RA表示二价亚烷基;n是1以上的整数;并且YA表示单价官能团。
7.根据权利要求5所述的光固化性组合物,其中所述烯化氧链是氧化乙烯链。
8.根据权利要求5所述的光固化性组合物,其中所述光刺激响应部位包括2-重氮基-1,2-萘醌基。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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