[发明专利]用于光刻的传感器系统

权利要求书

1.一种控制系统，所述系统包括：

传感器系统，用以测量物理量，所述传感器系统包括具有多个检测器以允许在不同空间位置处并行测量的并行检测设置，

致动器；以及

控制单元，被配置成基于所述多个检测器的输出提供驱动信号至所述致动器；

其中所述多个检测器共享噪声源，其中所述传感器系统被配置为使得所述多个检测器均输出根据所述物理量的信号，

其中所述传感器系统被配置为使得至少一个检测器与一个或多个其他检测器相比不同地响应于源自所共享噪声源的噪声，

其中所述多个检测器和所述致动器被配置成使得所述多个检测器的输出中的因源自所述噪声源的噪声所致的信号变化无法由所述致动器跟随或无法由所述致动器完全跟随，以及

其中所述多个检测器输出根据所述物理量的周期性变化的信号，以及其中来自所述至少一个检测器的周期性变化的信号与所述一个或多个其他检测器的周期和/或相位不同。

2.根据权利要求1所述的控制系统，其中，由于至少一个检测器的周期性变化的信号与一个或多个其他检测器的周期和/或相位不同，所述至少一个检测器与所述一个或多个其他检测器相比不同地响应于源自共享噪声源的噪声。

3.根据权利要求1或2所述的控制系统，其中，所述至少一个检测器的所述周期性变化的信号与所述一个或多个其他检测器的相位不同，以及其中相位的差值为180度。

4.根据权利要求1或2所述的控制系统，其中，所述至少一个检测器的周期性变化的信号与所述一个或多个其他检测器的相位不同，以及其中相位的差值为90度。

5.根据权利要求1或2所述的控制系统，其中，所述至少一个检测器的周期性变化的信号与所述一个或多个其他检测器的周期不同，以及其中所述至少一个检测器的周期性变化的信号的周期与来自所述一个或多个其他检测器的信号的周期之间的比率至少为2。

6.根据权利要求1或2所述的控制系统，其中每个检测器包括：

辐射输出，用于提供测量束；

输入光栅，用于调制所述测量束；

检测光栅，用于在已调制测量束已经穿过光学系统之后形成所述已调制测量束的波前的多个重叠和干涉副本；以及

相机，设置在距所述检测光栅一定距离处以捕捉所述波前的所述重叠和干涉副本的图像，

其中由所述输入和/或检测光栅中的差异引起在所述检测器的周期性变化的信号之间的周期和/或相位的差值。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其中所述多个检测器共享相同的所述辐射输出和/或共享相同的所述相机作为噪声源。

8.一种控制系统，所述系统包括具有：

传感器系统，用以沿至少两个方向测量物理量，所述传感器系统包括多个检测器以允许在不同空间位置处并行测量的并行检测设置，其中所述多个检测器共享噪声源，

致动器；以及

控制单元，被配置成基于所述多个检测器的输出提供驱动信号至所述致动器；

其中每个检测器被配置为每次沿所述至少两个方向中的一个方向测量，其中所述传感器系统被配置为使得所述多个检测器均输出根据所述物理量的信号，

其中所述传感器系统被配置为使得在并行测量期间至少一个检测器同时沿与一个或多个其他检测器不同的方向测量，以及

其中所述多个检测器和所述致动器被配置成使得所述多个检测器的输出中的因源自所述噪声源的噪声所致的信号变化无法由所述致动器跟随或无法由所述致动器完全跟随，以及

其中所述多个检测器输出根据所述物理量的周期性变化的信号，以及其中来自所述至少一个检测器的周期性变化的信号与所述一个或多个其他检测器的周期和/或相位不同。

9.根据权利要求8所述的控制系统，其中，所述多个检测器输出根据所述物理量的周期性变化的信号。