[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物

权利要求书

1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其为含有(I)在四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度不同的至少两种以上的聚硅氧烷I、(II)具有除了硅烷醇基以外的四甲基氢氧化铵水溶液可溶性基团的聚硅氧烷II、(III)重氮基萘醌衍生物、以及(IV)溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，

所述聚硅氧烷I是(A)聚硅氧烷Ia与(B)聚硅氧烷Ib的混合物，并且该混合物在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒，

该聚硅氧烷Ia通过在碱性催化剂的存在下使由通式(1)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得，预烘烤后的膜可溶于5重量％四甲基氢氧化铵水溶液，其溶解速度为/秒以下，

该聚硅氧烷Ib通过在酸性或者碱性催化剂的存在下使由下述通式(1)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得，预烘烤后的膜在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒以上，

另外，所述具有除了硅烷醇基以外的四甲基氢氧化铵水溶液可溶性基团的聚硅氧烷II是：预烘烤后的膜在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒的聚硅氧烷，

R¹_nSi(OR²)_4-n (1)

式中，R¹表示任意的亚甲基都可被氧置换的碳原子数为1～20的直链状、支链状或环状烷基、或者碳原子数为6～20并且任意的氢都可被氟取代的芳基，R²表示碳原子数1～5的烷基，n表示0或1。

2.根据权利要求1所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，

聚硅氧烷Ib包含聚硅氧烷Ib’和/或聚硅氧烷Ib”，

聚硅氧烷Ib’通过在酸性或者碱性催化剂的存在下使由上述通式(1)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得，预烘烤后的膜在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒以上；

聚硅氧烷Ib”通过在酸性或者碱性催化剂的存在下使由上述通式(1)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得，预烘烤后的膜在2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒。

3.根据权利要求2所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于至少包含聚硅氧烷Ia以及聚硅氧烷Ib”，并且以1.5微米以下的膜厚来应用。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，所述具有四甲基氢氧化铵水溶液可溶性基团的聚硅氧烷II是：在酸性或者碱性催化剂的存在下使至少一种由下述通式(2)表示的硅烷化合物进行水解缩合而获得的，预烘烤后的膜在2.38％TMAH水溶液中的溶解速度为/秒的聚硅氧烷，

通式(2)：

R³Si(OR⁴)₃ (2)

式中，R³表示具有至少一种可溶于2.38％TMAH水溶液的基团(R³a)的基团，R³a表示酚羟基、羧酸或者其盐、羧酸酐、磺酸或者其盐、硫羟基、氰基、或者-CO-R⁷，式中，R⁷表示氢原子或者碳原子数1～5的烷基、烯基或者烷氧基，R⁴表示碳原子数1～5的烷基。

5.根据权利要求4所述的正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，

所述聚硅氧烷II是：由至少一种由上述通式(2)表示的硅烷化合物与至少一种由下述通式(3)表示的硅烷化合物获得的聚硅氧烷，

通式(3)：

R⁵Si(OR⁶)₃ (3)

式中，R⁵表示甲基或者苯基，R⁶表示碳原子数1～5的烷基。