[发明专利]探针卡盒和探针卡输送方法

权利要求书

1.一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：

第1盒部件，其被安装所述探针卡，所述探针卡包括绝缘性基板和配置在该绝缘性基板的下表面的探针；

第2盒部件，其能够与所述第1盒部件的上表面侧嵌合，具有用于固定所述探针卡的探针卡固定机构；和

盒固定机构，其可选择将所述第1盒部件固定于所述第2盒部件，或者将所述第1盒部件从所述第2盒部件分开，

能够在将所述探针卡收纳在所述探针卡盒内、将所述第1盒部件固定于所述第2盒部件的状态下进行输送，并且，

能够在将所述探针卡固定在所述第2盒部件且将所述第1盒部件从所述第2盒部件分开的状态下，将所述探针卡仅与所述第2盒部件一起输送。

2.如权利要求1所述的探针卡盒，其特征在于：

能够利用所述探针卡固定机构从所述第2盒部件的外侧固定所述探针卡，能够将被固定的所述探针卡从所述第2盒部件脱离。

3.如权利要求1所述的探针卡盒，其特征在于：

所述第2盒部件的至少一部分为透明，从外部能够目视收纳于所述探针卡盒的内部的所述探针卡。

4.如权利要求1所述的探针卡盒，其特征在于：

在所述第2盒部件设置有多个用于搬运的把手。

5.如权利要求1所述的探针卡盒，其特征在于：

在所述第2盒部件的上表面和所述第1盒部件的下表面各自配置有在将多个所述探针卡盒重叠时相互嵌合的嵌合部。

6.一种输送探针卡的探针卡输送方法，所述探针卡包括：

绝缘性的基板；

配置在所述基板的下表面的探针；

配置在所述基板的上表面且通过与所述探针电连接而与电测定装置连接的电连接部；和

包围所述基板的周围的框体，

所述探针卡输送方法的特征在于，包括：

在权利要求1所述的探针卡盒内收纳所述探针卡的步骤；和

在将所述探针卡固定在所述第2盒部件的状态下，将所述探针卡仅与所述第2盒部件一起输送的步骤。