[发明专利]探针卡盒和探针卡输送方法

说明书

本发明提供一种探针卡盒，其能够容易地进行探针卡的操作处理且还能够应对小径化(小型化)了的探针卡。一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能够将上述探针卡载置在规定位置；第2盒部件，其能够与上述第1盒部件的上侧嵌合，具有用于固定上述探针卡的探针卡固定机构；和盒固定机构，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能够在将上述探针卡收纳在上述探针卡盒的内部、且将上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的状态下进行输送，并且，能够在将上述探针卡固定在上述第2盒部件的状态下，将上述探针卡仅与上述第2盒部件一起输送。

技术领域

本发明涉及探针卡盒和探针卡输送方法。

背景技术

在半导体器件的制造步骤中，使用用于进行形成在半导体晶片上的半导体器件的电检查的探针装置。在这样的探针装置中，使用配置有与半导体晶片上的电极极板接触的多个探针的探针卡(例如参照专利文献1。)。

在上述的探针卡中，开发有使探针与形成在半导体晶片上的多个半导体器件一起接触的探针卡，来实现半导体器件检查的效率化。在这样的探针卡中，有时在从探针装置取下的状态下作业员将探针卡拿在手中进行输送。

但是，在使探针一起与半导体器件接触的探针卡中，存在大型化、其重量也变重的趋势。另外，在用手保持探针卡时，也需要使手不与探针接触。因此，以在探针的配置区域的外侧确保一定程度的较宽的区域的方式配置构成部件，或者设置用于保持探针卡的把手等。

但是，在上述的构成中，产生探针卡进一步大径化(大型化)，重量也变重，制造成本也增大等的问题。另一方面，为了避免这样的问题，当使探针卡小径化(小型化)时，存在对其的操作处理变得困难的问题。

此外，也已知有将探针卡收纳于盒来保护探针等的技术(例如参照专利文献2、专利文献3。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-80775号公报

专利文献2：日本特开平7-169800号公报

专利文献3：日本特开2003-100821号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

如上所述，在现有技术中，存在探针卡大型化、其重量也变重的趋势。为了避免这样的问题，当使探针卡小径化(小型化)时，产生对其的操作处理变得困难的问题。

本发明是针对上述现有的情况而完成的，其目的在于提供一种能够容易地进行探针卡的操作处理且也能够应对小径化(小型化)的探针卡的探针卡盒和探针卡输送方法。

用于解决技术课题的技术方案

根据本发明，提供一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能够将上述探针卡载置在规定位置；第2盒部件，其能够与上述第1盒部件的上侧嵌合，具有用于固定上述探针卡的探针卡固定机构；和盒固定机构，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能够在将上述探针卡收纳在上述探针卡盒的内部、且将上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的状态下进行输送，并且，能够在将上述探针卡固定在上述第2盒部件的状态下，将上述探针卡仅与上述第2盒部件一起输送。

本发明中，优选能够通过上述探针卡固定机构从上述第2盒部件的外侧固定上述探针卡，能够将被固定的上述探针卡从上述第2盒部件脱离。

本发明中，优选上述第2盒部件的至少一部分为透明，从外部能够目视收纳于上述探针卡盒的内部的上述探针卡。

本发明中，优选在上述第2盒部件设置有多个用于搬运的把手。