[发明专利]马达模块、多轴马达驱动组件、多轴机械手设备及电子装置制造系统与方法

权利要求书

1.一种马达模块，所述模块包括：

定子组件，所述定子组件包括定子外壳及固定至所述定子外壳的定子，所述定子外壳包括定子外壳轴向端部；

转子组件，所述转子组件与所述定子组件沿轴向轴相接且其中所述转子组件的一部分容纳在所述定子组件的内部，所述转子组件包括：

转子外壳，所述转子外壳包括转子外壳轴向端部，其中所述转子外壳轴向端部与所述定子外壳轴向端部沿所述轴向轴相接，

驱动轴，

轴承组件，所述轴承组件相对于所述转子外壳支撑所述驱动轴，及

转子，所述转子耦接至所述驱动轴；

真空屏障部件，所述真空屏障部件定位在所述转子与所述定子之间；及

定位特征结构，所述定位特征结构用于将所述马达模块以轴向及旋转方式相对于其它马达模块而定向。

2.如权利要求1所述的马达模块，所述马达模块包括第一编码器元件，所述第一编码器元件耦接至所述转子外壳。

3.如权利要求1所述的马达模块，所述马达模块包括第二编码器元件，所述第二编码器元件耦接至所述驱动轴。

4.如权利要求1所述的马达模块，其中所述真空屏障部件包括环状套管。

5.如权利要求4所述的马达模块，其中所述环状套管抵住所述定子外壳及所述转子外壳而在所述环状套管的端部密封。

6.如权利要求4所述的马达模块，其中所述环状套管在所述定子外壳与所述转子外壳之间延伸。

7.如权利要求1所述的马达模块，其中所述定子组件包括：

第一定子及第二定子，及

在所述定子外壳中，所述第二定子容纳在所述第一定子的邻近处。

8.如权利要求1所述的马达模块，其中所述转子组件包括：第一转子组件，所述第一转子组件耦接至所述定子组件的第一侧面上；及第二转子组件，所述第二转子组件耦接至所述定子组件的第二侧面上。

9.如权利要求8所述的马达模块，其中所述真空屏障部件包括环状套管，并且其中所述环状套管在所述第一转子组件的所述转子外壳与所述第二转子组件的第二转子外壳之间延伸。

10.一种多轴马达驱动组件，所述组件包括：

第一马达模块；及

第二马达模块，

其中所述第一马达模块、所述第二马达模块或两者的组合经组装以产生二轴马达、三轴马达、四轴马达、五轴马达，或六轴马达，并且

其中所述第一马达模块及所述第二马达模块中的每一个包括：

定子组件，所述定子组件包括定子外壳及固定至所述定子外壳的定子，所述定子外壳包括定子外壳轴向端部；

转子组件，所述转子组件与所述定子组件沿轴向轴相接且其中所述转子组件的一部分容纳在所述定子组件的内部，所述转子组件包括：

转子外壳，所述转子外壳包括转子外壳轴向端部，其中所述转子外壳轴向端部与所述定子外壳轴向端部沿所述轴向轴相接，

驱动轴，

轴承组件，所述轴承组件相对于所述转子外壳支撑所述驱动轴，及

转子，所述转子耦接至所述驱动轴；

真空屏障部件，所述真空屏障部件定位在所述转子与所述定子之间；及

定位特征结构，所述定位特征结构用于将所述马达模块以轴向及旋转方式相对于其它马达模块而定向。

11.如权利要求10所述的多轴马达驱动组件，其中所述第一马达模块由单轴能力组成；及

第二马达模块由二轴能力组成。