[发明专利]马达模块、多轴马达驱动组件、多轴机械手设备及电子装置制造系统与方法

说明书

本文描述用于多臂机械手设备的马达模块。马达模块可单独使用，或经堆叠及组装以组成单轴、二轴、三轴、四轴、五轴、六轴马达组件，或更多轴的马达组件。马达模块中的一或多个具有：定子组件，所述定子组件包括容纳在定子外壳中的定子；及与定子组件相接的转子组件，所述转子组件包括转子外壳、驱动轴、支撑驱动轴的轴承组件，及耦接至所述驱动轴的转子。真空屏障部件定位在转子与定子之间。本文描述了多轴马达驱动组件、多轴机械手设备、电子装置制造系统及组装驱动组件的方法，以及描述了众多其它态样。

相关申请

本申请案主张申请于2012年11月30日、标题为“MULTI-AXIS ROBOT APPARATUSWITH UNEQUAL LENGTH FOREARMS,ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS,ANDMETHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING”的美国专利申请案第61/732,196号的优先权，所述申请案在此以引用的方式全部并入本文以用于所有目的。

领域

本发明涉及机械手，及更特定而言涉及用于机械手的驱动马达，所述机械手诸如经调适以在电子装置制造系统中传送基板的机械手。

背景

传统的电子装置制造系统可包括多个处理腔室及一或多个负载锁定腔室。例如，所述腔室可包括在群集工具中，在所述群集工具中，多个腔室可围绕传送腔室而分布。这些系统可采用传送机械手，所述传送机械手可安置在传送腔室中及可经调适以在多个腔室之间传送基板。依据机械臂的数目及运动能力，这类系统可具有以下驱动马达：所述驱动马达具有单轴、二轴、三轴、四轴，或甚至五轴能力或更多轴以上的能力。然而，所述驱动马达可能十分复杂及昂贵。

由此，需要成本较低及可经调适用于机械手以进行有效及精确的基板移动的驱动马达。

发明内容

在一或多个实施例中，提供一种马达模块。马达模块包括：定子组件，所述定子组件包括定子外壳及容纳在定子外壳中的定子；转子组件，所述转子组件与定子组件相接及包括：转子外壳、驱动轴、相对于转子外壳而支撑驱动轴的轴承组件，及耦接至驱动轴的转子；及定位在转子与定子之间的真空屏障部件。

在另一实施例中，提供一种多轴马达驱动组件。多轴马达驱动组件包括：第一马达模块；及第二马达模块，其中第一马达模块、第二马达模块或上述两者的组合经组装以产生二轴马达、三轴马达、四轴马达、五轴马达或六轴马达。

在另一实施例中，提供一种多轴机械手设备。多轴机械手设备包括：一或多个机械臂；具有单轴能力的第一马达模块，所述第一马达模块耦接至所述一或多个机械臂中的一或多个第一机械臂；及具有二轴能力的第二马达模块，所述第二马达模块耦接至所述一或多个机械臂中的一或多个第二机械臂及经调适以移动所述一或多个第二机械臂。

在系统实施例中，提供一种电子装置制造系统。电子装置制造系统包括：传送腔室；机械手设备，所述机械手设备包括容纳在传送腔室中的机械臂及耦接至所述机械臂的一或多个马达模块，至少一个马达模块包括：定子组件，所述定子组件包括定子外壳及容纳在定子外壳中的定子；转子组件，所述转子组件与定子组件相接及包括：转子外壳、驱动轴、相对于转子外壳而支撑驱动轴的轴承组件，及耦接至所述驱动轴的转子；及定位在转子与定子之间的真空屏障部件。

在另一态样中，提供一种组装多轴驱动组件的方法。所述方法包括：提供由单轴能力组成的第一马达模块；提供由二轴能力组成的第二马达模块；及将第一马达模块中的一或多个组装至第二马达模块的一或多个以形成多轴马达组件。

依据本发明的所述及其它实施例而提供多个其它态样。本发明的实施例的其它特征及态样将由下文的详细描述、所附的权利要求书及附图而变得更为显而易见。

附图简单说明