[发明专利]半导体激光器装置

权利要求书

1.一种半导体激光器装置，其具有：

半导体激光器，该半导体激光器具有半导体激光条、光束发散角度校正光学系统、以及光束旋转光学系统，其中，该半导体激光条具有用于射出多条光束的多个发光点，该光束发散角度校正光学系统对从所述多个发光点射出的所述多条光束各自的发散角度进行校正，该光束旋转光学系统使由所述光束发散角度校正光学系统校正发散角度后的所述多条光束各自相对于光轴旋转；

波长色散光学元件，其配置于经由所述光束旋转光学系统射出的所述多条光束的聚光位置处，具有波长色散功能；以及

部分反射镜，其配置于由所述波长色散光学元件反射而以同轴的方式叠加的所述多条光束的光路上，

在该半导体激光器装置中，

所述光束发散角度校正光学系统相对于所述多个发光点的在发散角度校正方向上的相对位置，按照所述多个发光点的排列顺序依次变化。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器装置，其中，

所述多个发光点在所述半导体激光条上以等间距排列，

所述光束发散角度校正光学系统相对于彼此相邻的2个发光点的在发散角度校正方向上的相对位置变化量的差异分别设定为固定值。

3.根据权利要求1或2所述的半导体激光器装置，其中，

所述光束发散角度校正光学系统由柱面透镜构成，在与从所述多个发光点射出的各光束的光轴垂直的面内，相对于所述多个发光点中的每一个相对倾斜地设置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体激光器装置，其中，

所述半导体激光器配置为，射出的所述多条光束相对于与由慢轴方向即X轴和快轴方向即Y轴所规定的XY平面垂直的Z轴倾斜，

关于所述光束发散角度校正光学系统，以使从位于所述半导体激光器的中心的发光点射出的光束通过所述光束旋转光学系统后相对于所述Z轴平行地行进的方式，对所述Y轴方向的位置进行调整。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体激光器装置，其中，

具有多个所述半导体激光器。

6.根据权利要求5所述的半导体激光器装置，其中，

以从所述多个半导体激光器分别射出的光束汇聚于1点，形成光束叠加点的方式，分别配置所述多个半导体激光器。

7.根据权利要求5或6所述的半导体激光器装置，其中，

还具有反射光学元件，该反射光学元件将从所述半导体激光器射出的光束向所述波长色散光学元件的位置方向反射，

以从所述多个半导体激光器分别射出的光束汇聚于1点，形成光束叠加点的方式，配置所述多个半导体激光器的每一个、以及所述反射光学元件。

8.根据权利要求6或7所述的半导体激光器装置，其中，

还具有：第1透镜，其焦距是第1焦距；以及第2透镜，其焦距是第2焦距，

所述第1透镜配置于与所述光束叠加点相距所述第1焦距的位置处，

所述第2透镜配置于与所述第1透镜的位置相距相当于所述第1焦距及所述第2焦距之和的距离的位置处。

9.根据权利要求6或7所述的半导体激光器装置，其中，

还具有：第1透镜，其焦距是第1焦距；以及第2透镜，其焦距是第2焦距，

所述第1透镜配置于与所述光束叠加点相距所述第1焦距的位置处，

所述第2透镜配置于与所述第1透镜的位置相距与相当于所述第1焦距及所述第2焦距之和的距离相比更短、或更长的位置处，

该半导体激光器装置还具有在所述波长色散光学元件和所述部分反射镜之间配置的所述第3透镜，或者将所述部分反射镜的镜面设置为凹面形状。