[发明专利]半导体激光器装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体激光器装置，该半导体激光器装置通过具有波长色散功能的波长色散光学元件而实现了波长叠加。

背景技术

在现有的半导体激光器装置中，已知如下技术，即，为了提高半导体激光器的亮度，对来自半导体激光条各发光点的光束的发散角度进行校正，在使各光束旋转后，利用透镜聚光至波长色散光学元件，并且，通过波长色散光学元件的波长色散性，将来自各发光点的光束进行叠加，针对叠加后的光束设置部分透射镜，形成外部共振器(例如参照专利文献1)。

专利文献1：美国专利申请公开第2011/0216417号(Fig.3A)

发明内容

现有的半导体激光器装置需要用于将从半导体激光条的不同发光点射出的光束汇聚的聚光透镜，需要确保半导体激光条和聚光透镜之间的距离、以及聚光透镜和波长色散光学元件之间的距离，并且应该确保的各距离由半导体激光条的尺寸和波长色散光学元件所具有的波长色散性之间的关系决定，因此存在不能将装置整体小型化及简单化的课题。

本发明就是为了解决上述课题而提出的，其目的在于以小型且简单的结构得到高亮度的半导体激光器装置。

本发明所涉及的半导体激光器装置具有：半导体激光条，其具有用于射出多条光束的多个发光点；光束发散角度校正光学系统，其对从多个发光点射出的多条光束各自的发散角度进行校正；光束旋转光学系统，其使由光束发散角度校正光学系统校正发散角度后的多条光束各自相对于光轴旋转；波长色散光学元件，其配置于经由光束旋转光学系统射出的多条光束的聚光位置处，具有波长色散功能；以及部分反射镜，其配置于由波长色散光学元件反射而以同轴的方式叠加的多条光束的光路上，在该半导体激光器装置中，光束发散角度校正光学系统相对于多个发光点的在发散角度校正方向上的相对位置，按照多个发光点的排列顺序依次变化。

发明的效果

根据本发明，通过使半导体激光条的各发光点和光束发散角度校正光学系统之间的位置关系变化，从而能够使各光束以同轴的方式叠加，而无需另外设置聚光透镜，能够以更小型且简单的结构得到高亮度的半导体激光器装置。

附图说明

图1是概略地表示本发明的实施方式1所涉及的半导体激光器装置的斜视图。

图2是表示本发明的实施方式1所涉及的半导体激光条上的发光点和光束发散角度校正光学系统之间的位置关系的俯视图。

图3是表示本发明的实施方式1所涉及的光束聚光效果的斜视图。

图4是表示本发明的实施方式1所涉及的光束聚光效果的俯视图及侧视图。

图5是表示本发明的实施方式1所涉及的光束聚光效果的斜视图。

图6是表示本发明的实施方式1所涉及的光束聚光效果的俯视图及侧视图。

图7是表示本发明的实施方式1所涉及的光束倾角产生机理的斜视图。

图8是表示本发明的实施方式1所涉及的光束倾角产生机理的俯视图及侧视图。

图9A是表示本发明的实施方式1所涉及的光束聚光效果的斜视图。

图9B是表示本发明的实施方式1所涉及的光束聚光效果的斜视图。

图10是表示本发明的实施方式1所涉及的半导体激光条上的发光点和光束发散角度校正光学系统之间的位置关系的俯视图。

图11是表示本发明的实施方式2所涉及的半导体激光条上的发光点和光束发散角度校正光学系统之间的位置关系的俯视图。

图12是概略地表示本发明的实施方式3所涉及的半导体激光器装置的俯视图。

图13是概略地表示本发明的实施方式4所涉及的半导体激光器装置的俯视图。

图14是概略地表示本发明的实施方式5所涉及的半导体激光器装置的俯视图。

图15A是概略地表示本发明的实施方式6所涉及的半导体激光器装置的俯视图。

图15B是概略地表示本发明的实施方式6所涉及的半导体激光器装置的侧视图。

图16A是概略地表示在与本发明的实施方式6所涉及的半导体激光器装置的对比说明中使用的半导体激光器装置的俯视图。

图16B是概略地表示在与本发明的实施方式6所涉及的半导体激光器装置的对比说明中使用的半导体激光器装置的侧视图。

具体实施方式

实施方式1

图1是概略地表示本发明的实施方式1所涉及的半导体激光器装置的斜视图。