[发明专利]电镀用屏蔽膜支持体及使用它的屏蔽膜有效
申请号: | 201380065494.5 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN104968841B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 中村文子;林虎雄 | 申请(专利权)人: | 索马龙株式会社 |
主分类号: | C25D5/02 | 分类号: | C25D5/02;B32B27/00;B32B27/20;C08J5/18;C23C18/16 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 孟阿妮;郭栋梁 |
地址: | 日本东京都中*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 屏蔽 支持 使用 | ||
1.一种电镀用屏蔽膜支持体,是由含有无机填料的聚对苯二甲酸丁二醇酯膜构成的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述无机填料是鳞片状粘土矿物,其在所述支持体内呈层状配置分散,
所述屏蔽膜支持体在23℃时的拉伸弹性回复率在700MPa以上5000MPa以下,且
所述屏蔽膜支持体中占有的所述粘土矿物的体积占有率为2体积%
2.如权利要求1所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述粘土矿物的含量,相对于上述聚对苯二甲酸丁二醇酯膜中含有的树脂成分100质量份,在10质量份以上40质量份以下。
3.如权利要求1或2所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述粘土矿物的莫氏硬度在3以下。
4.如权利要求1或2所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述粘土矿物是从滑石、高岭石、叶腊石、云母中选出的至少1种。
5.如权利要求1或2所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述电镀用屏蔽膜支持体的厚度在4μm以上125μm以下,
所述粘土矿物的平均粒径在2μm以上10μm以下。
6.如权利要求1或2所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述电镀用屏蔽膜支持体在90℃时的拉伸弹性回复率在100MPa以上1000MPa以下。
7.如权利要求1或2所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述电镀用屏蔽膜支持体85℃加热30分钟之后的纵向及横向的热收缩率均在1%以下。
8.如权利要求1或2所述的电镀用屏蔽膜支持体,其特征在于,
所述电镀用屏蔽膜支持体85℃加热30分钟之后的纵向与横向的热收缩率之差在1%以下。
9.一种电镀用屏蔽膜,其特征在于,
在如权利要求1~8任意一项所述的电镀用屏蔽膜支持体的其中一面,具有粘合层。
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