[发明专利]加热装置及包括该装置的涂覆设备有效
申请号: | 201380067426.2 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN104884665B | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 郑勇华;南庆勋;严文钟;郑宇城;洪锡俊;郭荣镇;金兑烨;李东烈 | 申请(专利权)人: | POSCO公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 张晶,王莹 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热 装置 包括 设备 | ||
1.一种加热装置,其包括:
加热部,对供给的固相涂覆物质进行加热,产生涂覆于涂覆对象物的涂覆蒸汽;以及
涂覆物质供给单元,与所述加热部连接,使供给的固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后供给至加热部。
2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述加热部包括:
电磁线圈,能够通过电磁感应来对涂覆物质进行加热;以及
涂覆蒸汽产生管,位于所述电磁线圈的内侧,将液相涂覆物质生成为涂覆蒸汽,
所述加热部还包括涂覆蒸汽喷嘴管,所述涂覆蒸汽喷嘴管与所述涂覆蒸汽产生管连接,并具有用于将产生的涂覆蒸汽向涂覆对象物喷出的喷嘴口。
3.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质供给单元包括涂覆物质供给管,通过施加的电磁力对被供给的固相涂覆物质进行悬浮加热时,使固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后排出;或者
所述涂覆物质供给单元包括:涂覆物质供给管,固相涂覆物质被供给;涂覆物质停止装置,位于所述涂覆物质供给管的下端部,使被供给的固相涂覆物质停止,加热时使固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后排出。
4.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质停止装置由排出管构成,所述排出管插入于所述涂覆物质供给管的下部,并支承供给的固相涂覆物质,将加热时相变的液相涂覆物质排出至涂覆蒸汽产生管。
5.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质停止装置由支承部构成,形成在排出管上,所述排出管与所述涂覆物质供给管的下部一体形成,并支承固相涂覆物质。
6.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质供给管包括设置在加热部的耐热管。
7.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质停止装置由卡止部构成,所述卡止部形成在相互组装的涂覆物质供给管的下端和排出管的上端,并相互卡止而支承固相涂覆物质。
8.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质供给单元还包括涂覆物质供给装置,其与涂覆物质供给管连接,将固相涂覆物质依次供给到供给管。
9.根据权利要求8所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质供给装置包括:
旋转供给体,可旋转地设置在外壳的内侧,具有一个以上的涂覆物质容纳部,供给的固相涂覆物质依次容纳于所述涂覆物质容纳部;以及
排出口,设置在所述外壳的底面上,向所述供给管依次供给固相涂覆物质。
10.根据权利要求8所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质供给装置包括:
旋转堆栈,其可旋转地设置在壳体的内侧,具有多层的容纳固相涂覆物质的涂覆物质容纳部;以及
外壳,设置在所述壳体的下部,与向供给管供给固相涂覆物质的缸体水平连接,并与供给管连通。
11.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,还包括供给管阻挡装置,所述供给管阻挡装置盖住所述涂覆物质供给管的入口或者形成在供给管的开口部分。
12.根据权利要求3所述的加热装置,其特征在于,所述涂覆物质供给单元的涂覆物质供给管的下端端部或者设置在供给管的下部的排出管的下端端部位于加热部的上电磁线圈与下电磁线圈之间。
13.一种涂覆设备,包括:
根据权利要求1至12中任一项所述的加热装置;以及
真空腔室,其包围所述加热装置的全部或一部分,涂覆对象物在在真空状态下通过,在所述加热装置产生的涂覆蒸汽涂覆在涂覆对象物。
14.根据权利要求13所述的加热装置,其特征在于,通过所述真空腔室的涂覆对象物为钢板,所述加热装置和真空腔室排列成能够使钢板水平或者垂直移送的情况下进行涂覆。
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