[发明专利]加热装置及包括该装置的涂覆设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种加热装置，所述加热装置产生用于对连续移动的母材(钢板)进行沉积并涂覆的涂覆蒸汽(气体)，更具体地，涉及一种加热装置及包括该装置的涂覆设备，其采用温度下降幅度小的液相供给方式，将供给的固相涂覆物质在停止的状态下进行加热，然后将液相的涂覆物质供给到加热部，因此能够充分地产生(形成)涂覆蒸汽，通过产生的涂覆蒸汽能够提高涂覆质量、操作性等。

背景技术

以基板为例，通过已知的在真空氛围下对连续(高速)移动的钢板进行沉积的方法，将涂覆物质，即金属蒸汽涂覆在钢板表面上。

上述的真空沉积是在真空氛围下通过各种方式对固体(固相)或者液体(液相)涂覆物质进行加热蒸发，使其变成蒸汽(气体)，然后将蒸汽沉积在钢板上来进行涂覆。

然而，以如上所述的真空沉积为媒介的基板(钢板)的连续涂覆，可根据加热方法进行分类，例如有热沉积法(thermal evaporation)、电子束沉积法(electron beam evaporation)等。

另一方面，近来正在研发一种能够进行高速沉积的电磁悬浮沉积法(electro-magnetic levitation evaporation)。

如上所述的电磁悬浮沉积法如下：涂覆物质被电磁线圈包围，向电磁线圈施加从高频电源产生的高频交流电，通过此时产生的交流电磁场，将涂覆物质加热至悬浮的状态，这与现有的在坩埚熔炉中产生金属蒸汽的情况相比，不仅能够减少热损失，而且能够对基板的表面，例如在连续(高速)移动的钢板表面上涂覆大量的金属蒸汽。

然而，为了在真空中对连续移动的钢板进行涂覆，要求产生涂覆蒸汽的加热装置(蒸发源装置)，而且，为了进行连续涂覆，要求供给涂覆物质(蒸发(涂覆)对象物质)。

根据涂覆物质的状态，将如上所述的涂覆物质的供给可分为固相(固体)供给和液相(液体)供给，并且液相供给方式还可分为机械方式、利用高度差的方式、利用压差的方式等。

例如，作为液相供给方式之一的机械方式有活塞方式(美国公开专利US 2005-0229856)、利用电磁的MHD泵方式(韩国公开专利第2007-0015923号)或者螺杆方式(日本公开专利第2010-189739号)等。

另外，在韩国公开专利第2009-0074064号等中公开了利用高度差的方式，在日本公开专利55-154537等中公开了利用压差的方式。

然而，在上述的专利中公开的液相供给方式有以下共同的问题，即，因供给的液相物质的温度或者化学特性，设备发生侵蚀(磨损)。

另一方面，作为固相(固体)供给方式的代表性的方式，一直在使用供给固体钢丝的方式，可是该方式具有在电磁线圈内降低蒸汽物质的温度的问题。

发明内容

(一)要解决的技术问题

因此，在本技术领域中，要求一种加热装置，所述加热装置在初期将生成为涂覆蒸汽的涂覆物质(介质)以固相(固体状态)来供给，之后使固相相变为(熔化为)液相(液体状态)后供给至加热部，从而能够防止现有的由于直接供给液相涂覆物质而引起的设备侵蚀(磨损)等，而且由于将液相涂覆物质生成为涂覆蒸汽，因此还能够解决现有的因供给固体钢丝而导致的涂覆物质的温度下降等问题，最终能够实现加热装置的能量效率的最大化。

并且，需要一种涂覆设备，所述设备利用如上所述的加热装置，能够归根结底地对母材、特别是对(高速)移动的钢板进行连续稳定的涂覆，从而能够提高涂覆品质。

(二)技术方案

用于实现上述要求的本发明的一个方面，提供一种加热装置，其包括：加热部，对供给的固相涂覆物质进行加热，产生涂覆于涂覆对象物的涂覆蒸汽；以及涂覆物质供给单元，与所述加热部连接，使供给的固相涂覆物质相变为液相涂覆物质后供给至加热部。

并且，本发明的另一个方面，提供一种涂覆设备，包括：所述加热装置；以及真空腔室，其包围所述加热装置的全部或一部分，涂覆对象物在真空状态下通过，在所述加热装置产生的涂覆蒸汽涂覆在涂覆对象物。

(三)有益效果

根据本发明，将生成为涂覆蒸汽的涂覆物质在初期以固相来供给，之后使固相相变为液相后供给至加热部，从而能够防止现有的由于直接供给液相涂覆物质而引起的设备侵蚀等破损。

另外，本发明由于将液相涂覆物质生成为涂覆蒸汽(沉积蒸汽)，因此还能够解决现有的因供给固体钢丝而导致的涂覆物质的温度下降等问题。