[发明专利]末端执行器装置在审
申请号: | 201380067574.4 | 申请日: | 2013-12-25 |
公开(公告)号: | CN104937708A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 桥本康彦;福岛崇行;金丸亮介;宫川大辉 | 申请(专利权)人: | 川崎重工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 末端 执行 装置 | ||
1.一种末端执行器装置,具备:机器手,具有收纳空间;及
多个保持部,以如下方式构成:设置于所述机器手,且以分别保持各板状构件的周缘部的外沿方向上互不相同的部位的方式,分别保持多个所述板状构件;且
各所述保持部包含:多个支承部,利用所有所述保持部,以所述多个板状构件与1个平面大体平行且在与所述1个平面大体正交的第1方向相互隔开间隔地配置的方式,分别支承所述多个板状构件的周缘部;及间距变换机构,以使所述多个支承部分别在所述第1方向线性移动而变换所述间隔;
与所述间距变换机构的所述多个支承部一体地分别线性移动的多个线性移动部以露出至所述机器手的外部的方式设置于所述机器手,
分别驱动所述间距变换机构的所述多个线性移动部的多个驱动部被收纳于所述机器手的收纳空间。
2.根据权利要求1所述的末端执行器装置,其中所述机器手包含:中空主体部,以在与所述1个平面大体平行的第2方向延伸的方式形成;及中空可动部,在所述第2方向可前进及后退地连结于所述主体部的基端部;且
所述多个保持部包含:第1保持部,设置于所述主体部的前端部;及第2保持部,设置于所述可动部。
3.根据权利要求2所述的末端执行器装置,以如下方式构成:当所述可动部前进时,利用所述第1保持部及所述第2保持部,以夹持的方式保持所述多个板状构件的周缘部,且当所述可动部后退时,从所述第2保持部释放所述多个板状构件的周缘部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的末端执行器装置,其中各所述第1保持部及第2保持部分别包含多个线性移动体,所述多个线性移动体在所述第1方向的前端部形成有所述支承部,且剩余部分构成所述线性移动部,
与所述线性移动部对应的所述驱动部包含:第1滑块,在所述第2方向线性移动;及连杆机构,以将所述第1滑块的线性移动变换为所述第1方向的线性移动的方式,将所述第1滑块与所述线性移动体连结;且
所述连杆机构构成为,以与所述支承部应承受的板状构件在所述第1方向的配置顺序位置相应的线性移动距离,使所述线性移动体线性移动。
5.根据权利要求4所述的末端执行器装置,其中所述连杆机构具备:第1连杆构件,基端部绕与所述第1方向正交的第1轴线旋动自如地连结于所述第1滑块;
第2连杆构件,基端部绕与所述第1轴线平行的第2轴线旋动自如地连结于所述第1连杆构件;及
第2滑块,构成为沿着与所述第1方向平行的滑动面在所述第1方向滑动自如,绕与所述第1轴线平行的第3轴线旋动自如地连结所述第2连杆构件的前端部,且固定所述线性移动体的下端部;且
各所述保持部的所述多个连杆机构构成为,在所述第1连杆构件与所述第1方向正交的状态下,所述第1轴线和所述第2轴线之间的第1距离、与所述第2轴线和所述第3轴线之间的第2距离的和分别为互不相同的特定距离,通过所述第1滑块的线性移动,在第1连杆构件绕所述第1轴线旋动的状态下,所述第2距离相对于所述特定距离的比率根据所述线性移动距离而互不相同。
6.根据权利要求5所述的末端执行器装置,还具备弹推机构,所述弹推机构向与所述第1连杆构件和所述第2连杆构件的死点为相反方向弹推所述第1连杆构件。
7.根据权利要求5或6所述的末端执行器装置,其中所述连杆机构具备驱动所述第1滑块、所述第1连杆构件或所述第2滑块的缸体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造