[发明专利]闪烁器面板的制造方法、闪烁器面板以及放射线检测器

权利要求书

1.一种闪烁器面板的制造方法，其特征在于：

是用于将放射线转换成闪烁光的闪烁器面板的制造方法，

包含：

第1工序，在具有表面以及背面的基板的所述表面上形成在从所述背面朝向所述表面的规定的方向上突出的多个凸部、以及由所述凸部规定的凹部；

第2工序，通过使闪烁器材料的柱状结晶进行结晶生长从而形成从所述基板的各个所述凸部沿着所述规定的方向进行延伸的第1闪烁器部；

第3工序，通过沿着所述凹部扫描激光从而将所述激光照射于从互相相邻的所述凸部进行延伸的所述第1闪烁器部彼此的接触部分并将从互相相邻的所述凸部进行延伸的所述第1闪烁器部彼此互相分离。

2.如权利要求1所述的闪烁器面板的制造方法，其特征在于：

在所述第3工序之前，还包含将第2闪烁器部形成于所述基板的所述凹部的底面上的第4工序。

3.如权利要求2所述的闪烁器面板的制造方法，其特征在于：

在所述第1工序中，通过以在所述基板的所述表面上排列成二维状的方式形成所述凸部，从而在所述基板的所述表面上形成被规定成格子状的所述凹部，

在所述第4工序中，使所述凹部的交叉区域中的所述第2闪烁器部的厚度大于除了所述交叉区域的位置上的所述第2闪烁器部的厚度。

4.一种闪烁器面板，其特征在于：

是用于将放射线转换成闪烁光的闪烁器面板，

具备：

基板，具有表面以及背面并且形成有在从所述背面朝向所述表面的规定的方向上从所述表面突出的多个凸部、以及由所述凸部规定的凹部；以及

多个第1闪烁器部，从各个所述凸部沿着所述规定的方向进行延伸并且互相分离，

所述第1闪烁器部通过分别使多个柱状结晶在所述凸部上进行结晶生长来形成，

构成所述第1闪烁器部的所述柱状结晶在所述凹部的底面上的至少一部分由激光的照射而互相熔接。

5.如权利要求4所述的闪烁器面板，其特征在于：

还具备在所述基板的所述凹部的所述底面上形成的第2闪烁器部。

6.如权利要求5所述的闪烁器面板，其特征在于：

所述凸部在所述基板的所述表面上被排列成二维状，

所述凹部在所述基板的所述表面上由所述凸部而被规定成格子状，

所述凹部的交叉区域中的所述第2闪烁器部的厚度大于除了所述交叉区域的位置上的所述第2闪烁器部的厚度。

7.如权利要求5或者6所述的闪烁器面板，其特征在于：

所述第2闪烁器部的至少一部分在由所述激光的照射而发生熔融之后进行凝固。

8.一种放射线检测器，其特征在于：

具备权利要求4～7中的任意一项所述的闪烁器面板，

所述基板是具有以被光学性地耦合于所述第1闪烁器部的方式进行排列的多个光电转换元件的传感器面板。