[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201380070741.0 | 申请日: | 2013-12-20 |
公开(公告)号: | CN104937701B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 岛崎洸一;广濑嘉胤 | 申请(专利权)人: | 艾普凌科有限公司 |
主分类号: | H01L21/336 | 分类号: | H01L21/336;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/78 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,所述半导体装置具有:
半导体衬底;
NMOS晶体管,其具备设置于所述半导体衬底的表面上的交替配置的多个源和多个漏、形成于所述多个源与所述多个漏之间的偶数个的沟道、配置在所述偶数个的沟道之上的多个栅、以及被配置成包围具有所述多个源和所述多个漏的区域的背栅;
接地电压布线,其通过多个源布线与所述多个源电连接;
输入电压布线,其通过多个漏布线与所述多个漏电连接;
多个栅布线,它们跨越所述背栅,分别将被所述背栅包围的区域外的所述接地电压布线和被所述背栅包围的区域内的所有的所述多个栅电连接;
接自外部连接用的接地电压焊盘的布线,其在所述接地电压布线的一端处电连接;以及
接自外部连接用的输入电压焊盘的布线,其在所述输入电压布线的另一端处电连接,
所述多个源布线跨越所述背栅,分别将被所述背栅包围的区域外的所述接地电压布线和被所述背栅包围的区域内的所有的所述多个源电连接,
所述多个漏布线跨越所述背栅,分别将被所述背栅包围的区域外的所述输入电压布线和被所述背栅包围的区域内的所有的所述多个漏电连接,
多个所述栅布线分别由相同形状的金属膜形成,
所述多个源布线分别由相同形状的金属膜形成,
所述多个漏布线分别由相同形状的金属膜形成,
所述接地电压布线的一端和所述输入电压布线的另一端以所述NMOS晶体管的中心为中心对置,
所述一端处的接自所述外部连接用的接地电压焊盘的布线和所述另一端处的接自所述外部连接用的输入电压焊盘的布线都被配置成与所述NMOS晶体管的沟道长度方向平行。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造