[发明专利]DLC被覆膜及被覆气门挺杆

权利要求书

1.一种DLC被覆膜，其特征在于，由在发动机构成零件的基材被覆Cr而形成的底层、沉积形成于所述底层的表面的中间层、和沉积形成于该中间层上的DLC(类金刚石碳)层构成，

通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属的溅射处理来形成所述中间层，且除了在混入烃气的非活性气体导入下的碳的溅射处理，还通过上述中间层的溅射处理的继续控制，将与该中间层共同的金属元素与距上述中间层的成膜厚度对应地慢慢减少、同时进行添加，由此形成所述DLC层而成，

所述共同的金属元素是W(钨)，

所述DLC层在钨的添加量在DLC层表面为0.5～20at％(原子百分率)的范围内成膜。

2.根据权利要求1所述的DLC被覆膜，其特征在于，

所述DLC层在H(氢)含量为8～30at％的范围内成膜。

3.根据权利要求1或2所述的DLC被覆膜，其特征在于，将所述发动机构成零件特定为气门挺杆而成。