[发明专利]基板检测系统及基板检测方法

权利要求书

1.一种基板检测系统，其特征在于包括：

基板载体，包含界定有安装着基板的基板安装区域的基板安装面，在所述基板安装面的至少包含所述基板安装区域的一部分的检查区域内配置有检测标志；

拍摄装置，以包含所述检查区域的方式对安装有所述基板的所述基板安装面进行拍摄而获得判断用图像；以及

判断装置，当所述检测标志的配置在所述基板安装区域内的部分的图像不含于所述判断用图像中时判断为所述基板正常安装在所述基板安装面上，当所述部分的图像包含于所述判断用图像中时判断为所述基板没有正常安装在所述基板安装面上。

2.根据权利要求1所述的基板检测系统，其特征在于：所述检测标志为形成于所述基板安装面的槽。

3.根据权利要求2所述的基板检测系统，其特征在于还包括：照明装置，从与所述槽延伸的方向垂直的方向，将照明光沿所述基板安装面投射至安装有所述基板的所述基板安装面。

4.根据权利要求1所述的基板检测系统，其特征在于：所述检测标志只配置在所述基板安装区域内。

5.根据权利要求1所述的基板检测系统，其特征在于：将所述检测标志跨越所述基板安装区域及所述非安装区域而连续地配置。

6.根据权利要求1所述的基板检测系统，其特征在于：

所述判断装置包括：

图像处理部，将从斜上方拍摄的梯形形状的所述基板安装面的图像修正成从面法线方向观察时呈矩形形状的图像；

检查部，检查是否在矩形形状的所述基板安装区域的图像中含有所述检测标志；以及

判断部，利用所述检查部的检查结果，判断所述基板是否正常安装在所述基板安装面上。

7.根据权利要求1所述的基板检测系统，其特征在于：所述拍摄装置对所述基板安装区域的上端区域进行拍摄而获得所述判断用图像。

8.一种基板检测方法，其特征在于包括如下步骤：

准备基板载体，所述基板载体包含界定有安装着基板的基板安装区域的基板安装面，在所述基板安装面的至少包含所述基板安装区域的一部分的检查区域内配置有检测标志；

以包含所述检查区域的方式对所述载体的安装有所述基板的所述基板安装面进行拍摄而获得判断用图像；

检查所述检测标志的配置在所述基板安装区域内的部分的图像是否包含于所述判断用图像中；以及

当所述部分的图像不含于所述判断用图像中时判断为所述基板正常安装在所述基板安装面上，当所述部分的图像包含于所述判断用图像中时判断为所述基板没有正常安装在所述基板安装面上。

9.根据权利要求8所述的基板检测方法，其特征在于：所述检测标志为形成于所述基板安装面的槽。

10.根据权利要求9所述的基板检测方法，其特征在于：在拍摄所述基板安装面时，从与所述槽延伸的方向垂直的方向沿所述基板安装面，将照明光投射至安装有所述基板的所述基板安装面。

11.根据权利要求8所述的基板检测方法，其特征在于：所述检测标志只配置在所述基板安装区域内。

12.根据权利要求8所述的基板检测方法，其特征在于：将所述检测标志跨越所述基板安装区域及所述非安装区域而连续地配置。

13.根据权利要求8所述的基板检测方法，其特征在于：

进行所述检查的步骤包括如下阶段：

将从斜上方拍摄的梯形形状的所述基板安装面的图像修正成从面法线方向观察时呈矩形形状的图像；以及

检查是否在矩形形状的所述基板安装区域的图像中含有所述检测标志。

14.根据权利要求8所述的基板检测方法，其特征在于：对所述基板安装区域的上端区域进行拍摄而获得所述判断用图像。