[发明专利]安装检查装置有效
申请号: | 201380079577.X | 申请日: | 2013-09-17 |
公开(公告)号: | CN105531582B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 中岛干雄;稻垣光孝 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01B11/30;H05K13/08 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆德骏;谢丽娜 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 安装 检查 装置 | ||
1.一种安装检查装置,具备:
缺件检查单元,对安装于基板上的元件进行缺件检查;及
异物检查单元,基于所述缺件检查单元的所述缺件检查的结果,对被检测出所述缺件的基板进行将该基板上的成为所述缺件的元件作为异物进行检查的异物检查,
所述异物检查单元取得与所述基板中的被检测出所述缺件的位置相关的信息即缺件位置信息,并优先对所述基板中的根据所述缺件位置信息所确定的所述位置的周边进行所述异物检查,
所述异物检查单元对通过所述缺件检查未检测出所述缺件的基板不进行所述异物检查。
2.一种安装检查装置,具备:
缺件检查单元,对安装于基板上的元件进行缺件检查;及
异物检查单元,基于所述缺件检查单元的所述缺件检查的结果,对被检测出所述缺件的基板进行将该基板上的成为所述缺件的元件作为异物进行检查的异物检查,
所述异物检查单元取得与安装被检测出的所述缺件所涉及的元件时的所述基板上的搬运路线相关的信息即缺件搬运信息,并优先对所述基板中的根据所述缺件搬运信息所确定的区域进行所述异物检查,
所述异物检查单元对通过所述缺件检查未检测出所述缺件的基板不进行所述异物检查。
3.根据权利要求1或2所述的安装检查装置,其中,
所述异物检查单元基于图像处理来进行所述异物检查,取得与被检测出的所述缺件所涉及的元件的大小相关的信息即缺件尺寸信息,并基于取得的该缺件尺寸信息,忽略基于所述图像处理检测出的异物中的比所述缺件所涉及的元件小的异物而进行所述异物检查。
4.根据权利要求1或2所述的安装检查装置,其中,
所述基板是包含多个子基板的多连片基板,
所述异物检查单元对由所述缺件检查单元检测出所述缺件的所述多连片基板进行所述异物检查,也对该多连片基板中的除被检测出该缺件的子基板以外的一个以上子基板进行所述异物检查。
5.根据权利要求3所述的安装检查装置,其中,
所述基板是包含多个子基板的多连片基板,
所述异物检查单元对由所述缺件检查单元检测出所述缺件的所述多连片基板进行所述异物检查,也对该多连片基板中的除被检测出该缺件的子基板以外的一个以上子基板进行所述异物检查。
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