[发明专利]对基板作业装置及喷出头

权利要求书

1.一种对基板作业装置，在基板上涂布粘性流体，所述对基板作业装置具备：

喷出头，具备：粘性流体收容室，收容所述粘性流体；粘性流体喷出口，与所述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由所述粘性流体收容室推压所述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出所述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于所述操作输入部所输入的操作来切换所述阀机构；及

头保持单元，能够对所述喷出头以能够拆装的方式进行保持，

所述阀机构设于连接面与所述粘性流体收容室之间，其中该连接面是在所述喷出头被保持在所述头保持单元上时与该头保持单元连接的面。

2.根据权利要求1所述的对基板作业装置，其中，

所述头保持单元是对所述喷出头和安装头以能够更换的方式进行保持的单元，并具有对所保持的所述安装头进行操作的操作部，所述安装头能够保持元件及解除对元件的保持，

所述操作输入部能够在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下输入来自所述操作部的操作。

3.根据权利要求2所述的对基板作业装置，其中，

所述头保持单元的所述操作部在所述头保持单元保持有所述安装头的状态下能够对所述安装头所具有的轴旋转机构进行操作，所述轴旋转机构使能够保持所述元件及解除对所述元件的保持的多个元件保持件中的一个以上元件保持件进行轴旋转，

所述头保持单元的所述操作部在所述头保持单元保持有所述喷出头的状态下能够对所述操作输入部进行操作。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述操作输入部露出于所述连接面。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述喷出头具备：第一开口，在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向所述第一开口供给正压；及第二开口，在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向所述第二开口供给负压，

所述头保持单元具备：第一供给口，在该头保持单元保持有所述喷出头的状态下，所述第一供给口与所述第一开口连通而供给正压；及第二供给口，在该头保持单元保持有所述喷出头的状态下，所述第二供给口与所述第二开口连通而供给负压，

所述阀机构能够在所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与所述第一开口连通且不与所述第二开口连通的所述第一状态和所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与所述第二开口连通且不与所述第一开口连通的所述第二状态之间切换。

6.根据权利要求4所述的对基板作业装置，其中，

所述喷出头具备：第一开口，在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向所述第一开口供给正压；及第二开口，在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向所述第二开口供给负压，

所述头保持单元具备：第一供给口，在该头保持单元保持有所述喷出头的状态下，所述第一供给口与所述第一开口连通而供给正压；及第二供给口，在该头保持单元保持有所述喷出头的状态下，所述第二供给口与所述第二开口连通而供给负压，

所述阀机构能够在所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与所述第一开口连通且不与所述第二开口连通的所述第一状态和所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与所述第二开口连通且不与所述第一开口连通的所述第二状态之间切换。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述阀机构能够在所述第一状态、所述第二状态及所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与大气连通的第三状态之间切换。

8.根据权利要求4所述的对基板作业装置，其中，

所述阀机构能够在所述第一状态、所述第二状态及所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与大气连通的第三状态之间切换。