[发明专利]掩膜组件

权利要求书

1.一种掩膜组件，包括：

掩膜框架，具有形成在该掩膜框架上的框架开口；和

被固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜；

其中各个单元掩膜沿第一方向延伸，

其中所述多个单元掩膜中的至少一个单元掩膜，包括在所述至少一个单元掩膜的两端部处沿与所述第一方向相交的第二方向伸出到其一侧的一侧向伸出部和伸出到其另一侧的另一侧向伸出部中的至少一个，

其中各个单元掩膜沿所述第二方向彼此分开，并且

其中所述伸出部的伸出长度不大于相邻的单元掩膜之间的分开距离。

2.如权利要求1所述的掩膜组件，其中所述多个单元掩膜包括第一单元掩膜和被布置为与所述第一单元掩膜相邻的第二单元掩膜。

3.如权利要求2所述的掩膜组件，其中所述第一单元掩膜包括在其一个端部处的所述一侧向伸出部，并且所述第二单元掩膜在其该一个端部处不包括所述另一侧向伸出部。

4.如权利要求2所述的掩膜组件，其中所述第二单元掩膜包括在其一个端部处的所述另一侧向伸出部，并且所述第一单元掩膜在其该一个端部处不包括所述一侧向伸出部。

5.如权利要求1所述的掩膜组件，其中所述多个单元掩膜包括布置在所述掩膜框架的两个最外侧上的第一最外单元掩膜和第二最外单元掩膜，并且

其中所述第一最外单元掩膜和所述第二最外单元掩膜中的至少一个包括在其一个端部处的所述一侧向伸出部和所述另一侧向伸出部二者。

6.如权利要求1所述的掩膜组件，其中所述多个单元掩膜中的每一个沿所述第一方向的最外部分的宽度大于其中心部分的宽度。

7.如权利要求6所述的掩膜组件，其中所述多个单元掩膜中的每一个沿所述第一方向的侧部为抛物线形式。

8.如权利要求6所述的掩膜组件，其中所述多个单元掩膜中的每一个沿所述第二方向具有凹形形式。

9.一种掩膜组件，包括：

掩膜框架，具有形成在该掩膜框架上的框架开口；和

被固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜；

其中各个单元掩膜沿第一方向延伸，而且

其中所述多个单元掩膜中的至少一个单元掩膜，包括在所述至少一个单元掩膜的两端部处沿与所述第一方向相交的第二方向伸出到其一侧的一侧向伸出部和伸出到其另一侧的另一侧向伸出部中的至少一个，

所述掩膜组件进一步包括多个延伸单元，该多个延伸单元布置在所述掩膜框架上并且被配置为通过沿所述第二方向在所述多个单元掩膜中的两个相邻的单元掩膜之间的移动而使所述多个单元掩膜的两端部沿所述第二方向延伸。

10.如权利要求9所述的掩膜组件，进一步包括焊接部分，该焊接部分包括被配置为通过焊接将所述伸出部与所述延伸单元彼此固定的第一焊接部分和被配置为通过焊接将各个单元掩膜的两端部与所述掩膜框架彼此固定的第二焊接部分。