[发明专利]掩膜组件

说明书

技术领域

本公开涉及一种掩膜组件。

背景技术

作为平板显示器，液晶显示器（LCD）和有机发光显示器（OLED）已经被广泛使用。平板显示器包括特定图案的金属层，并且在有机发光显示器的情况下，特定图案的有机发光层针对每个像素形成。作为用于形成金属层和有机发光层的方法，可应用使用掩膜组件的沉积方法。

掩膜组件可包括具有对应于金属层或有机发光层的图案的开口的掩膜，和支撑掩膜的掩膜框架。例如，在分割掩膜方法中，掩膜被分成带状的多个单元掩膜，并且各个单元掩膜在单元掩膜沿长度方向被延伸的状态下通过焊接而被固定到掩膜框架。分割掩膜方法具有的优点例如为能够选择性地使用良好的产品并且能够容易地对其进行维修。

发明内容

单元掩膜可沿长度方向延伸并且可被固定到掩膜框架。然而，在此情况下，沿与延伸方向正交的方向（也就是沿宽度方向）可能发生收缩现象，并且这可导致在整个掩膜上发生波形。发生在掩膜上的波形随着单元掩膜的宽度变得更大而变得更严重。

进一步，单元掩膜的两侧的端部被固定到夹具并且被延伸，并且由于单元掩膜自身由薄金属板材料形成，单元掩膜可能不能耐受夹具的拉力，因此围绕固定到夹具的端部可发生波形。发生在单元掩膜的端部上的波形可能甚至到达单元掩膜的形成开口的中心部分，从而导致沉积劣化。

另一方面，单元掩膜通过焊接被固定到掩膜框架，并且此时，部分地拉动单元掩膜的力围绕焊接点发生，因此波形可能围绕焊接点发生在单元掩膜上。围绕单元掩膜的焊接点发生的波形扩展到单元掩膜的中心部分，从而导致沉积劣化。

本发明示例性实施例提供一种掩膜组件，其能够通过抑制在单元掩膜上的波形的发生而提高薄膜的沉积质量。

本发明示例性实施例提供一种制造掩膜组件的方法，其能够通过抑制在单元掩膜上的波形的发生而提高薄膜的沉积质量。

根据本发明示例性实施例，提供一种掩膜组件包括：掩膜框架，具有形成在该掩膜框架上的框架开口；和被固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜。各个单元掩膜沿第一方向延伸，所述多个单元掩膜中的至少一个单元掩膜包括在所述单元掩膜的两端部处沿与所述第一方向相交的第二方向伸出到其一侧的一侧向伸出部和伸出到其另一侧的另一侧向伸出部中的至少一个。

根据本发明示例性实施例，提供一种掩膜组件包括：掩膜框架，具有形成在该掩膜框架上的框架开口；和被固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜。各个单元掩膜沿第一方向延伸，所述单元掩膜沿所述第一方向的最外部分的宽度大于所述单元掩膜的中心部分的宽度。

根据本发明示例性实施例，提供一种用于制造掩膜组件的方法，其包括：准备掩膜框架，其中多个延伸单元和多个单元掩膜被安装在该掩膜框架上，多个单元掩膜包括沿第一方向从其两端部伸出的夹紧部分和沿与第一方向相交的第二方向从其两端部伸出的伸出部；使所述掩膜框架上的所述多个单元掩膜中的任何一个的所述夹紧部分沿所述第一方向延伸；将所述单元掩膜的沿所述第一方向延伸的伸出部固定到所述延伸单元的移动构件；使所述单元掩膜的所述伸出部通过所述移动构件沿所述第二方向的移动而沿所述第二方向延伸；将所述单元掩膜的沿所述第二方向延伸的两端部固定到掩膜框架；和将单元掩膜的两端部固定的夹紧部分分离。

根据本发明示例性实施例，提供一种掩膜组件。该掩膜组件包括：掩膜框架，限定所述掩膜组件的外框架并且包括在位于在其中的开口和在其一侧的凹形槽；和固定到所述掩膜框架的多个单元掩膜。各个单元掩膜沿第一方向延伸，并且所述多个单元掩膜中的至少一个单元掩膜包括在所述单元掩膜的两端部处沿与所述第一方向相交的第二方向伸出到其第一侧的一侧向伸出部和伸出到其另一侧的另一侧向伸出部中的至少一个。

所述掩膜组件进一步包括布置在所述掩膜框架的所述凹形槽内位于两个相邻的单元掩膜之间的延伸单元。所述延伸单元包括布置为在所述凹形槽的底部上沿所述第二方向成一条线的引导轨、联接到所述引导轨的移动构件和布置在所述移动构件的侧壁上并且被配置为控制所述移动构件的移动的移动控制部分。所述移动构件被联接到所述引导轨并且被配置为在所述凹形槽中沿所述第二方向滑动，并且所述移动控制部分包括具有齿条的齿条联接部分和具有配置为与所述齿条接合的小齿轮的驱动轴，引导联接部分布置在所述凹形槽的侧壁上并且被配置为通过沿所述第二方向与所述齿条联接部分进入表面接触而引导所述齿条联接部分的移动。