[发明专利]一种靶式溅射镀膜机在审
| 申请号： | 201410011781.4 | 申请日： | 2014-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN104775098A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 吕春哲;孙旭东 | 申请（专利权）人： | 烟台力凯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 265500 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶式溅射镀膜机，包括接地板和靶体，其特征在于：靶体安装在接地板上，靶体与接地板之间加有靶体绝缘垫，所述靶体的腔内装有靶磁续，靶磁续上装有中心垫和环形磁铁，靶体前端有靶头，将靶体腔密封，靶头上设有凹槽，凹槽内装有银靶，银靶通过边框固定在靶头上，所述接地板前端装有靶护罩，所述靶护罩前端安装有靶前护罩，所述靶体后侧设有安装孔，安装孔内装有接头。
2.根据权利要求1所述的靶式溅射镀膜机，其特征在于：所述靶中心垫与靶磁续接触的一侧有若干个凹槽。
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