[发明专利]振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备

说明书

本发明专利申请是发明名称为“振动器件及电子设备”、申请日为2010年11月10日、申请号为“201010542414.9”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及弯曲振动的振动片、具有该振动片的振子、振荡器、传感器以及电子设备。

背景技术

在专利文献1中公开了一种振动片，该振动片具有基部、和从基部突出形成的振动臂部（以下称作振动臂），在振动臂上形成有槽部，在基部中形成有切入部。

此外，在专利文献2中公开了一种音叉型振子（以下称作振动片），该音叉型振子在设为U字状等的音叉前端具有附加值量部分（以下称作施重部），并具有向音叉基部的两外侧横向或横向上方突出的支撑部。

【专利文献1】日本特开2002－280870号公报

【专利文献2】日本实公昭51－10755号公报

专利文献1的振动片通过在基部中形成有切入部，能够缓和从振动臂向基部的漏振，从而能够实现CI值（Q值）的波动抑制。

但是，专利文献1的振动片不能通过其结构实现Q值自身的提高。

专利文献2的振动片在音叉（以下称作振动臂）的前端具有施重部，因此能够实现Q值的提高而不增长振动臂。

但是，专利文献2的振动片为使支撑部向基部的两外侧横向或横向上方突出的结构，因此难以不使包含支撑部的基部大型化地实现Q值的提高。

发明内容

本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而提出的，能够作为如下的形式或者适用例来实现。

[适用例1]本适用例的振动片的特征在于，所述振动片具有：基部，在其一端与另一端之间设置有切入部；一对振动臂，在俯视时该一对振动臂从所述基部的所述一端起沿着第1方向延伸；以及支撑部，在俯视时该支撑部与所述基部的另一端侧连接，所述振动臂的机械谐振频率f比所述振动臂的热缓和频率f₀大，当设在俯视时所述切入部的外缘与所述一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最短距离为基部弯曲宽度Wb，设假想振动臂的臂宽为有效臂宽We时，满足Wb＞We的关系，其中，所述假想振动臂沿着包含与所述第1方向交叉的第2方向和所述振动臂的厚度方向的面的截面形状为矩形，所述假想振动臂的机械谐振频率与所述振动臂的机械谐振频率f相等，热弹性损失与所述振动臂的热弹性损失等价，厚度与所述振动臂的厚度相同。

[适用例2]在上述适用例的振动片中，优选当设伴随所述切入部的所述外缘与所述分叉部的所述外缘之间的弯曲振动而产生的温度差为dΘ_b，设伴随作为与所述一对振动臂之间的连接部的根部在所述第2方向上的两端之间的弯曲振动而产生的温度差为dΘ时，满足Wb＞We×dΘ_b/dΘ的关系，其中，dΘ_b＜dΘ。

[适用例3]在上述适用例的振动片中，优选所述一对振动臂在相互处于正反关系的第1主面和第2主面中的至少一个主面上沿着所述第1方向设置有槽部。

[适用例4]在上述适用例的振动片中，优选所述一对振动臂包含施重部和与所述施重部相比配置得更靠基部侧的臂部。

[适用例5]在上述适用例的振动片中，优选所述施重部沿着所述第2方向的宽度比所述臂部宽。

[适用例6]在上述适用例的振动片中，优选所述支撑部具有在俯视时从所述基部的所述另一端侧沿着所述第2方向延伸的第1突出部和在俯视时从所述第1突出部起沿着所述第1方向延伸的第2突出部，该第2突出部沿着所述第2方向与所述振动臂并列设置。

[适用例7]本适用例的振子的特征在于，该振子具有所述振动片和收纳有所述振动片的封装。

[适用例8]在上述适用例的振子中，优选所述支撑部利用由环氧系、硅系、聚酰亚胺系中的任意一者构成的接合材料安装在设于所述封装的电极盘上。

[适用例9]在上述适用例的振子中，优选所述支撑部利用凸块安装在设于所述封装的电极盘上。

[适用例10]本适用例的振荡器的特征在于，该振荡器具有所述振动片和IC芯片。

[适用例11]本适用例的传感器的特征在于，该传感器具有所述振动片。

[适用例12]本适用例的电子设备的特征在于，该电子设备具有所述振动片。

附图说明

图1是示出石英振子的概略结构的示意图，（a）是俯视图，（b）是截面图。

图2是针对绝热区域进行说明的示意图。

图3是针对振动臂的有效臂宽进行说明的示意图。

图4是示出了计算振动臂的有效臂宽的步骤的流程图。