[发明专利]派货系统及派货方法有效
申请号: | 201410014462.9 | 申请日: | 2014-01-13 |
公开(公告)号: | CN104779134B | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 赵晨;谭小兵 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 系统 方法 | ||
1.一种派货系统,用于管控产品从空置站点到Q-time区间的流程,所述产品具有剩余Q-time,所述剩余Q-time自产品进入Q-time区间时被激活并逐渐减少;其特征在于,包括:
Q-time站点群模块;
匹配模块,所述匹配模块用于匹配所述Q-time站点群模块与所述空置站点的信息;
最短可用时间模块,所述最短可用时间模块设定产品未来所要到达的Q-time末端站点的最短可用时间;
判断模块,所述判断模块连通Q-time站点群模块及最短可用时间模块,用于控制所述产品的可用设备的放行;及
空置站点控制模块,接收判断模块的指令,用于控制所述产品的空置站点变动。
2.如权利要求1所述的派货系统,其特征在于,所述Q-time站点群模块包括设置Q-time区间,产品类别,并根据所述Q-time区间及产品类别是否相符进行逻辑判断。
3.如权利要求2所述的派货系统,其特征在于,所述逻辑判断结果包括Y和N,当所述逻辑判断结果为Y时,表示Q-time区间与产品类别相符,且所述产品纳入所述派货系统中进行计算;当所述逻辑判断结果为N时,表示Q-time区间与产品类别不符,需另行设定。
4.如权利要求1所述的派货系统,其特征在于,所述派货系统还包括数据库,所述匹配模块从所述数据库中找出与所述Q-time站点群模块相匹配的所述空置站点并进行匹配。
5.如权利要求1所述的派货系统,其特征在于,所述最短可用时间模块设定产品未来所要到达的Q-time末端站点的最短可用时间包括通过结合可用设备数量、所述可用设备可加载的产品种类的类别数量及一种产品到达Q-time末端站点在工艺流程上的用时获得。
6.如权利要求5所述的派货系统,其特征在于,所述判断模块通过比较产品剩余Q-time与所述最短可用时间的关系而控制所述可用设备的放行。
7.如权利要求6所述的派货系统,其特征在于,对于处在Q-time区间的产品,当所述剩余Q-time大于等于所述最短可用时间,则所述可用设备放行;当所述剩余Q-time小于所述最短可用时间,则所述可用设备扣留。
8.如权利要求7所述的派货系统,其特征在于,对于处在空置站点的产品,当所述剩余Q-time大于等于所述最短可用时间,所述产品跳过空置站点;当所述剩余Q-time小于所述最短可用时间,所述产品滞留在空置站点。
9.一种利用如权利要求1-6中任意一项所述的派货系统进行派货的方法,其特征在于,所述派货方法包括通过所述判断模块的判断结果安排产品的派货顺序。
10.如权利要求9所述的派货方法,其特征在于,对于处在Q-time区间的产品,当所述剩余Q-time大于等于所述最短可用时间,则所述可用设备放行;当所述剩余Q-time小于所述最短可用时间,则所述可用设备扣留。
11.如权利要求10所述的派货方法,其特征在于,对于处在空置站点的产品,当所述剩余Q-time大于等于所述最短可用时间,所述产品跳过空置站点;当所述剩余Q-time小于所述最短可用时间,所述产品滞留在空置站点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造