[发明专利]派货系统及派货方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体产品工艺管控体系技术领域，特别是涉及一种用于管控产品从空置站点到Q-time区间的流程的派货系统及派货方法。

背景技术

在现在的半导体制造中，为了制造出高质量的产品，某些制造工序之间有严格的时间间隔（Q-time）要求，也就是当某一工序完成后，一定要在特定时间内完成另一工序。通常为了严格管控这种特殊的时间间隔，会在Q-time开始的站点之前设定一个空置站点（dummy step）来作为缓冲站点，以免产品（通常以批lot作为最小单位）直接被放到Q-time区间内的站点后，由于某些异常状况，导致在Q-time区间的产品无法在限定的时间内加工完成。如图1所示，产品完成前端站点1后即将进入Q-time区间3中，所述Q-time区间3自Q-time起始站点31开始，经过Q-time区间内的若干站点，直至完成Q-time末端站点32，为了避免某些情况的发生而导致超出Q-time，设置有空置站点2，产品需要视情况停留在空置站点2或者跳过空置站点2才可进入Q-time区间3。

世界上最先进的晶圆工厂（FAB）都已经采用了实时派货系统（RTD）来负责产线（inline）上的派货。RTD可以通过内置的算法针对线上的产品作出合理的派货结果，操作人员仅需要依据该系统推荐的产品顺序进行操作即可。这样总体的操作效率便会大大提高，可以说RTD系统对先进的晶圆厂的生产至关重要。同样在RTD系统当中，对已经在Q-time区间内的lot进行派货时，也要考虑到Q-time会超掉的风险，及时提醒操作人员不要将这种有风险的产品放行下去。

因此如何能够在操作人员的派货当中，更加合理的将产品从空置站点放行到下面的Q-time区间，同时针对已经在Q-time区间的产品进行更加精细化的管控，对整个FAB的产品品质以及产品的周转时间（Cycle Time）的提高至关重要。

目前FAB中管控空置站点以及Q-time区间内的产品的派货方法包括：

1）当前FAB已经建立了基于planner软件根据人为经验设定后续Q-time站点wip水位的方式来管控之前的空置站点的跳过（skip），但这种方法的设定条件不够灵活，人为经验有时不能及时反映线上的实际情况。

2）当前RTD的派货考虑到了产品的剩余Q-time（RQT）的长短来派货，对于RQT比较紧急的产品会优先排，但是这种过于简单，无法针对产品RQT的大小与产品真正到达Q-time末端站点时的时间以及各站点机台的负载（loading）和状态做出判断，优先排RQT紧急的产品无法避免超出Q-time的风险。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种派货系统及派货方法，以解决目前的派货方法不够灵活，容易导致产品超出Q-time的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种派货系统，用于管控产品从空置站点到Q-time区间的流程，所述产品具有剩余Q-time，所述剩余Q-time自产品进入Q-time区间时被激活并逐渐减少；包括：

Q-time站点群模块；

匹配模块，所述匹配模块用于匹配所述Q-time站点群模块与所述空置站点的信息；

QNHT模块，所述QNHT模块设定产品未来所要到达的Q-time末端站点的最短可用时间；

判断模块，所述判断模块连通Q-time站点群模块及QNHT模块，用于控制所述产品的可用设备的放行；及

空置站点控制模块，接收判断模块的指令，用于控制所述产品的空置站点变动。

可选的，对于所述的派货系统，所述Q-time站点群模块包括设置Q-time区间，产品类别，并根据所述Q-time区间及产品类别是否相符进行逻辑判断。

可选的，对于所述的派货系统，所述逻辑判断结果包括Y和N，当所述逻辑判断结果为Y时，表示Q-time区间与产品类别相符，且所述产品纳入所述派货系统中进行计算；当所述逻辑判断结果为N时，表示Q-time区间与产品类别不符，需另行设定。

可选的，对于所述的派货系统，所述派货系统还包括数据库，所述匹配模块从所述数据库中找出与所述Q-time站点群模块相匹配的所述空置站点并进行匹配。

可选的，对于所述的派货系统，所述QNHT模块设定产品未来所要到达的Q-time末端站点的最短可用时间包括通过结合可用设备数量、所述可用设备可加载的产品种类的类别数量及一种产品到达Q-time末端站点在工艺流程上的用时获得。