[发明专利]一种显示面板及其制备方法和显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板及其制备方法和显示装置。

背景技术

随着显示面板技术和制程的不断改进，将触控面板功能与液晶面板进行一体化整合的研究日趋流行。相对于触摸面板设置于液晶面板上使用的传统方法，内嵌式触控面板的一体化整合的技术研发路线主要包括面板上（On-cell）触控及面板内（In-cell）触控两大类，两者差异在于面板内触控是将触摸面板功能嵌入到液晶像素中，而面板上触控则是将触摸面板功能嵌入到彩膜基板（也叫彩色滤光片）和偏光板之间。

具体来说，面板内触控是将触控面板功能整合于彩膜基板中；而面板上触控是将触控面板中的触控电极组件（包括触控扫描电极或触控感应电极）制作在素玻璃（即空白玻璃）上，再和彩膜基板贴合后内嵌至液晶像素中；或触控面板中的触控电极组件直接制作在彩膜基板中或阵列基板中。相比于面板上触控面板，面板内触控的内嵌式触控面板具有面板薄型化和轻量化的优势，可降低制造成本和面板厚度。

目前，为了使电容式触摸屏具有更薄的面板，已经出现将触控电极制作在彩膜基板或阵列基板之内的电容式内嵌触摸屏，例如：在现有的阵列基板上直接额外增加触控电极来实现触控功能。即在阵列基板的表面制作两层相互异面相交的条状电极，这两层电极通常采用ITO（Indium Tin Oxides，即氧化铟锡金属材料）形成，在两条条状电极的异面相交位置处形成感应电容，通过检测对应位置处的电容值是否发生改变，从而判定该点是否被触摸（即为触点）。

随着显示面板产品分辨率的提升，触控电极的精度要求也越来越高，使得条状电极的线宽也趋于减小，但是，根据电阻定律:

R=ρl/s=ρl/ab………………（1）

公式（1）中，对于条状电极而言，R为电极电阻值；ρ为电阻率，由形成电极的材料决定；l为电极长度；s为电极横截面积；a为电极的线宽，b为电极的厚度。

可知，在其他参数不变的情况下，随着条状电极线宽a的减小，电极的电阻值R将相应增大，使得触控过程中信号延迟（delay）的现象相应加重，触控灵敏度降低。为了降低条状电极的电阻值R，目前可能采用的一种解决方案是将形成触控扫描电极和触控感应电极的厚度b增大。但是，在实际制程工艺过程中发现，如果只是单纯地将电极的厚度b增大，会增加形成原设计的触控电极的工艺难度，例如：在形成非晶的ITO膜层的成膜过程中，由于要求触控电极的厚度较大，当温度大于等于150℃时ITO将出现晶化反应而出现部分结晶，而在通常情况下，刻蚀工艺对非晶的ITO膜层的刻蚀（主要是湿刻）效果优于对晶化的ITO膜层的刻蚀效果，ITO晶化将导致后续的刻蚀工艺中出现刻蚀不均匀的问题，进而导致产品出现不良。

因此，如何解决触控过程中信号延迟的问题，又能保证产品良率，成为目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种阵列基板及其制备方法和显示装置，该阵列基板中触控感应电极和/或触控接收电极具有较小的电阻，既能有效缓解触控过程中信号延迟的问题，又能保证产品良率。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是该显示面板，包括触控扫描电极和触控感应电极，所述触控扫描电极和/或所述触控感应电极中设置有至少一个隔断层，所述隔断层将所述触控扫描电极或所述触控感应电极分隔为至少两个电极子层，所述电极子层采用具有由非晶性质转变为多晶性质的电极材料形成，所述隔断层用于防止所述电极材料在晶化工艺前发生晶化反应。

优选的是，所述隔断层采用具有低电阻率、且光透过率范围为大于等于60%的金属导体材料形成。

优选的是，所述电极材料包括氧化铟锌、氧化铟锡、氧化铟或氧化锌中任一种或组合。

优选的是，所述金属导体材料包括Cr、W、Ti、Ta、Mo、AlNd、Cu、Ag、Al任一种或上述金属中任意多种金属的合金。

优选的是，所述隔断层的总层数小于等于5，所述隔断层的厚度范围为所述电极子层的厚度范围为

进一步优选的是，所述触控扫描电极和所述触控感应电极均为条状形状、且所述触控扫描电极和所述触控感应电极互相异面相交。

优选的是，所述显示面板包括阵列基板，所述触控扫描电极和所述触控感应电极共同设置于所述阵列基板中；

或者，所述显示面板包括彩膜基板和阵列基板，所述触控扫描电极设置于所述彩膜基板或所述阵列基板中，所述触控感应电极设置于所述阵列基板或所述彩膜基板中；或者，所述触控扫描电极和所述触控感应电极共同设置于所述彩膜基板中或所述阵列基板中。