[发明专利]一种光刻胶回收系统

权利要求书

1.一种光刻胶回收系统，其特征在于，包括：

接收装置，所述接收装置与光刻胶涂布装置连接，用于接收所述光刻胶涂布装置排出的使用过的光刻胶；

第一缓冲装置，所述第一缓冲装置的顶部与所述接收装置的底部连接；用于容纳所述接收装置接收的所述使用过的光刻胶；

输送装置，通过设置有第一控制阀的管道与所述第一缓冲装置的底部连接，以及与第二缓冲装置连接；所述输送装置用于将所述第一缓冲装置中的所述使用过的光刻胶输送至所述第二缓冲装置中；

所述第二缓冲装置的顶部通过设置有第二控制阀的管道与干洁气源连接；所述第二缓冲装置的底部连接设置有第四控制阀的管道；所述第二缓冲装置用于容纳所述输送装置输送的所述使用过的光刻胶，并在干洁气源提供的气压下，通过所述设置有第四控制阀的管道将所述使用过的光刻胶输送至胶桶。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二缓冲装置的顶部还通过设置有第三控制阀的管道与废液桶连接，所述设置有第三控制阀的管道用于在所述第三控制阀导通的状态下向废液桶排出气体以减少所述第二缓冲装置内的压力，或者用于在所述第三控制阀导通的状态下向废液桶排出清洗所述第二缓冲装置的液体。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制装置、以及分别与所述控制装置连接的第一监测装置和第二监测装置；

所述第一监测装置与所述第一控制阀连接，用于监测所述第一缓冲装置中光刻胶的液位，并向控制装置发送第一液位信号；

所述第二监测装置与所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀连接，用于监测所述第二缓冲装置中光刻胶的液位，并向控制装置发送第二液位信号；

所述控制装置与所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀连接和所述输送装置连接，用于根据接收的所述第一液位信号控制所述第一控制阀的通断和控制所述输送装置的开启和停止；还用于根据接收的所述第二液位信号控制所述第二控制阀、所述第三控制阀或所述第四控制阀的通断，及控制所述输送装置的停止。

4.如权利要求1至3任一项所述的系统，其特征在于，还包括第一过滤装置，所述第一过滤装置设置于所述接收装置的底部，用于过滤所述接收装置排出的所述使用过的光刻胶。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一过滤装置为过滤网，所述过滤网设置有若干直径小于1毫米的过滤孔。

6.如权利要求1至3任一项所述的系统，其特征在于，还包括第二过滤装置，所述第二过滤装置设置于所述第二缓冲装置的底部，用于过滤所述第二缓冲装置排出的所述使用过的光刻胶。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第二过滤装置为过滤网，所述过滤网设置有若干直径小于3微米的过滤孔。

8.如权利要求1至3任一项所述的系统，其特征在于，还包括第二过滤装置，所述第二过滤装置设置于所述设置有第四控制阀的管道与所述胶桶之间。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述第二过滤装置为过滤器，所述过滤器内设置过滤网，所述过滤网设置有若干直径小于3微米的过滤孔；所述过滤器用于过滤所述设置有第四控制阀的管道排出的所述使用过的光刻胶。

10.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述第一监测装置和所述第二监测装置为传感器，所述传感器包括超声波传感器、压力传感器、红外传感器、激光传感器和机械浮子中的任意一种或组合。