[发明专利]天线模块及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于发送或接收太赫频带、例如0.05THz～10THz的频率的电磁波的天线模块及其制造方法。

背景技术

使用太赫频带的电磁波进行的太赫通信被期待应用于短距离超高速通信、及非压缩·无延迟的超高精细影像传送等各种用途。

在日本特开2010－57161号公报中记载有一种使用半导体基板的太赫振荡元件。在日本特开2010－57161号公报的太赫振荡元件中，在半导体基板上形成有第1电极及第2电极、MIM（Metal Insulator Metal：金属－绝缘体－金属）反射器、谐振器及有源元件。在第1电极和第2电极之间配置有喇叭形（horn）开口部。

在上述太赫振荡元件中，由于在半导体基板上形成有天线电极，因此电磁波的放射方向由天线电极的形状和半导体基板决定。鉴于电子设备的小型化和薄型化，太赫振荡元件的配置自由度受到限制。因此，难以不妨碍电子设备的小型化和薄型化地将电磁波的发送/接收方向设定为目标方向。

发明内容

本发明的目的在于，提供即使在限制了配置自由度的情况下也能够将电磁波的接收或发送的方向设定为目标方向、且能够提高传送速度并提高传送距离的天线模块及其制造方法。

（1）本发明的一个技术方案的天线模块包括：电介体膜，其具有第1面及第2面，由树脂以能够弯折的方式形成；电极，其以能够接收或发送太赫频带内的电磁波的方式形成在电介体膜的第1面及第2面中的至少一个面之上；半导体元件，其以电连接于电极的方式安装在电介体膜的第1面及第2面中的至少一个面之上，能够在太赫频带下动作；以及支承体，其用于支承被弯折了的状态的电介体膜。

太赫频带表示例如0.05THz～10THz的频率，优选表示0.1THz～1THz的频率。

在该天线模块中，利用形成在电介体膜的第1面及第2面中的至少一个面之上的电极接收或发送太赫频带内的电磁波。此外，安装在电介体膜的第1面及第2面中的至少一个面之上的半导体元件进行检波及整流动作或者振荡动作。

电介体膜由树脂以能够弯折的方式形成。由此，由于能够容易地改变电介体膜之上的电极的朝向，因此能够容易地调整电磁波的接收或发送的方向。此外，由于利用支承体支承被弯折了的状态的电介体膜，因此能够确保电介体膜的形状保持性。由此，能够将电磁波的接收或发送的方向固定在调整后的方向上。因而，即使在天线模块的配置自由度受到限制的情况下，也能够将电磁波的接收或发送的方向设定为目标方向。

此外，由于电介体膜由树脂形成，因此电极周围的有效相对介电常数（effective relative permittivity）降低。由此，从电极放射的电磁波或者由电极接收的电磁波被电介体膜吸引的情况较少。因而，能够高效地放射电磁波，天线模块的指向性良好。

在此，电磁波的传送损耗α［dB／m］利用导体损耗α1和电介体损耗α2以下式表示。

α＝α1＋α2［dB／m］

在将有效相对介电常数设为ε_ref、将f设为频率、将导体表面电阻设为R（f）、将损耗角正切设为tanδ时，导体损耗α1和电介体损耗α2如下地表示。

α1∝R(f)· ϵref[dB/m]]]>