[发明专利]采用EBSD表征热轧钢板截面氧化铁皮微观结构的方法

权利要求书

1.一种采用EBSD表征热轧钢板截面氧化铁皮微观结构的方法，其特征在于，工艺步骤如下：

（1）试样的制备

采用导电胶带将氧化铁皮块状试样表面和另一块板状试块粘结在一起，采用精密切割机切割出待测截面试样；采用机械磨平机，手工磨平试样；采用机械抛光机，抛光磨料为人造金刚石抛光剂，在抛光盘靠近心部的位置抛光截面试样；采用化学精细抛光，使用全自动磨抛机，化学机械抛光盘，精抛润滑剂为<1μm的SiO₂溶胶，作精抛光，制得平整无应力层截面试样；

（2）EBSD面扫描

将抛光好的截面试样用导电胶带固定在70°倾斜的样品台上，把截面试样放入场发射扫描电镜样品室内，采集图像，在去除背底时，放大图像使氧化铁皮充满整个视场获得均匀背底，再去除背底；选定氧化铁皮参数，标定EBSD花样，设定步长为0.1μm-0.5μm，在500至2000放大倍数下做EBSD全视场面扫描，完成数据采集；

（3）EBSD面扫描数据分析

首先去除扫描结果中误标点、奇异点和噪点，得到完整的面扫描结果，然后将面扫描结果获得的相分布图进行氧化铁皮三个不同相的定性定量分析，在相分布图中Fe₃O₄、Fe₂O₃、FeO和基板Fe采用0-255之间的不同灰度值区分。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤（1）试样的制备后还包括镀膜处理工序，样品的镀层厚度的范围为2nm-5nm，镀层材料采用碳。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：采用精密切割机切割试样，切割转速2000rpm，进刀量取0.100mm/s。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：化学精细抛光时磨盘转速取150rpm，作精抛光0.5h-1h。