[发明专利]具有检测框的基板及其制造方法、检测装置

权利要求书

1.一种具有检测框的基板，其特征在于，所述检测框是由导电材料构成的开路线框，且设置于所述基板的边缘。

2.根据权利要求1所述的基板，其中所述检测框设置在所述基板的边缘的至少一条边上。

3.根据权利要求1所述的基板，其中所述检测框围绕所述基板，所述检测框的两个端部具有重合部分或者所述检测框的两个端部不重合且间隔开一定间距。

4.根据权利要求1所述的基板，其中所述检测框为多个。

5.根据权利要求1所述的基板，还包括设置在所述基板内各个管芯之间的检测框。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板，其中所述检测框线宽为2-5mm，距所述基板的边缘的距离为1-3mm。

7.一种用于检测权利要求1至6中任一项所述的基板的检测装置，包括测试分析仪和至少一对探针，所述至少一对探针外接于所述测试分析仪，在对所述基板进行探测时所述至少一对探针接触所述检测框上的接入点，所述测试分析仪根据测量的回路电流或电流变化判断基板是否完好。

8.根据权利要求7所述的检测装置，还包括缓冲器，其分别设置在每个探针与所述测试分析仪的连接处。

9.根据权利要求7所述的检测装置，还包括伺服马达或气动马达，其用于控制所述探针与所述检测框的接触。

10.一种权利要求1至6中任一项所述的基板的制造方法，其特征在于，在所述基板的边缘形成检测框。

11.根据权利要求10所述的方法，其中在所述基板的边缘形成检测框包括：涂覆感光材料；利用掩膜板在形成正常曝光图案的同时在所述基板的边缘形成所述检测框的图案；蚀刻形成所述检测框。

12.根据权利要求10所述的方法，其中在所述基板的边缘形成检测框包括：在对栅极金属进行镀膜时，同时在所述基板边缘镀膜以形成所述检测框。

13.根据权利要求10所述的方法，其中在所述基板的边缘形成检测框包括：涂覆感光材料；在正常曝光之后显影之前，在所述基板边缘贴对应于所述检测框形状的遮挡物；对所述感光材料进行显影；蚀刻形成所述检测框。

14.根据权利要求10所述的方法，其中在所述基板的边缘形成检测框包括：在进行第一次掩膜工序之前，对基板进行遮挡而仅露出对应于所述检测框的图案；对基板进行镀膜，从而形成检测框。