[发明专利]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201410037789.8 | 申请日： | 2014-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN103774108A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 刘晓伟;郭会斌;刘耀;李梁梁;王守坤;郭总杰 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
1.一种镀膜装置，包括靶材、靶材背板以及用于连接靶材和靶材背板的连接层，其特征在于，所述镀膜装置还包括位于所述靶材和所述连接层之间的放电层。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述放电层位于所述靶材和所述连接层之间的靶材表面或靶材内部；或所述放电层位于所述靶材和所述连接层之间的连接层表面或连接层内部。
3.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述放电层为绝缘层或导电层。
4.根据权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，当所述放电层为绝缘层时，所述绝缘层由绝缘颗粒组成。
5.根据权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述绝缘颗粒为表面尖锐的颗粒。
6.根据权利要求4或5所述的镀膜装置，其特征在于，所述绝缘颗粒为Al2O3颗粒。
7.根据权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，当所述放电层为导电层时，所述导电层由金属颗粒组成。
8.根据权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，所述金属颗粒为表面尖锐的颗粒。
9.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括检测单元，用于检测所述靶材与所述靶材背板之间的放电电压或电流，当检测到的放电电压或电流超过预设的电压或电流阈值时，确定所述靶材被击穿。
10.根据权利要求9所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括告警单元，用于当所述检测单元确定所述靶材被击穿时，发出告警信号。
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