[发明专利]红外线反射薄膜的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及主要在玻璃窗等的室内侧配置使用的红外线反射薄膜的制造方法。

背景技术

一直以来，已知在玻璃、薄膜等基材上具备红外线反射层的红外线反射基板。作为红外线反射层，广泛使用金属层与金属氧化物层交替层叠而得到的层，其能够通过反射太阳光等近红外线而能够具备遮热性。作为金属层，从提高红外线的选择反射性的观点出发，广泛使用银等，作为金属氧化物层广泛使用铟·锡复合氧化物（ITO）等。这些金属层、金属氧化物层的耐擦伤性等物理强度不充分，还容易产生由热、紫外线、氧、水分等外部环境要素引起的劣化。因此，一般而言，出于保护红外线反射层的目的，会在红外线反射层的与基材相反的一侧设置保护层。

近年来，进行了降低红外线反射基板的放射率，使其具有绝热性的尝试。为了降低红外线反射薄膜的放射率，通过红外线反射层中的金属层将远红外线反射至室内变得重要。然而，作为红外线反射基板的保护层使用的薄膜、固化性树脂层通常含有较多含C=C键、C=O键、C-O键、芳香族环等的化合物，因此波长5μm～25μm的远红外线区域的红外振动吸吸大。于保护层吸收的远红外线不会被金属层反射，而以热的形式通过热传导向室外扩散。因此，保护层导致的远红外线的吸收量大时，放射率上升，变得无法获得绝热效果。

出于减少红外线反射基板的放射率的目的，在专利文献1中，提出了减小保护层的厚度来减少保护层导致的远红外线的吸收的量的方法。另一方面，减小保护层的厚度时，存在由保护层带来的保护效果降低、红外线反射层、尤其金属层的耐久性降低的倾向。通常金属层被氧化时，存在产生由远红外线的吸收率（=放射率）的上升导致的绝热性的降低、可见光透射率的降低的倾向。

在专利文献2中，进行了使用氧化锌锡（ZTO）作为构成红外线反射层的金属氧化物层，由此来提高红外线反射基板的耐久性的尝试。由于ZTO对酸、碱、氯化物离子等的化学耐久性高，因此通过在银等金属层上形成ZTO作为金属氧化物层，能够提高红外线反射基板的耐久性。

另外，构成红外线反射层的金属氧化物层通常与银等金属层的密合性不充分，其也成为了使红外线反射层的耐久性降低的要因。在上述专利文献1、专利文献2中，为了确保金属氧化物层与金属层的密合性，在两者的层间设置了Ni-Cr合金等、Ti等金属的底漆层。然而，将金属底漆层制膜时，会产生金属反射层形成时的制膜靶数的增加导致的设备的复杂化、制膜次数的增加等导致的生产率的降低。另外，由于Ni-Cr等金属的可见光透射率低，因此存在招致红外线反射基板的可见光透射率降低这样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2011/109306号国际公开小册子

专利文献2：日本特开平1-301537号公报

发明内容

发明要解决的问题

如上述专利文献2公开的那样，通过使用ZTO作为构成红外线反射层的金属氧化物层，即使在透明保护层的厚度小的情况下也可期待红外线反射层的耐久性的提高。然而，ZTO的氧化物靶的导电性低，尤其锡的含量大的富Sn的ZTO难以稳定地进行基于能实现高制膜率的DC溅射法的制膜。另外，根据本发明人等的研究，通过使用了由金属锌和金属锡形成的金属靶的反应性溅射法来形成由ZTO形成的金属氧化物层时，出现了成为ZTO的制膜底层的金属层（Ag等）被制膜气氛中的过量的氧氧化、红外线反射层的特性降低这样的问题。

另外，ZTO不仅基于DC溅射法的制膜困难，而且还找不到提高金属层与金属氧化物层的密合性的有效的手段。在上述专利文献2中，提出了下述方法：在玻璃基材上将金属底漆层制膜，然后在高温下热处理而进行氧化，由此在底漆层带来的密合性的提高的基础上，使红外线反射基板的可见光透射率提高。然而，在使用透明树脂薄膜基材作为基材的情况下，存在由于高温下的处理导致薄膜基材熔融或者热劣化这样的问题。

如上所述，在现有技术中，出于赋予红外线反射薄膜绝热性的目的而减小透明保护层的厚度时，会产生耐久性降低这样的问题。出于红外线反射层的耐久性提高等目的而在金属层与金属氧化物层之间设置底漆层时，存在会导致生产率的降低、可见光透射率的降低这样的问题。另外，对于能够期待红外线反射层的耐久性提高效果的ZTO而言，尚未发现用于提高与金属层的密合性、生产率的有效的手段。如上所述，在现状下，没有发现可提供同时满足生产率、绝热性、耐久性、可见光透射率和红外线反射层的密合性的红外线反射薄膜的方法。