[发明专利]磁记录介质用玻璃基板的制造方法及磁记录介质用玻璃基板在审
申请号: | 201410045489.4 | 申请日: | 2014-02-08 |
公开(公告)号: | CN103978422A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 玉田稔;大塚晴彦;田先雷太 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;B24B37/20;G11B5/84 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;赵曦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 记录 介质 玻璃 制造 方法 | ||
1.一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法,包含研磨工序:使用具有研磨面的软质研磨垫对玻璃基板的主表面进行研磨,所述研磨面在测定波长2.5~80μm时的表面粗糙度Ra为0.40~1.40μm、且在测定波长2.5~800μm时的表面粗糙度Ra为0.40~2.00μm。
2.根据权利要求1所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法,其中,所述研磨面在测定波长8.3~2500μm时的表面粗糙度Ra为0.60~2.30μm。
3.根据权利要求1或2所述的磁记录介质用玻璃基板的制造方法,其中,所述研磨工序包含使用含有平均粒径为1~50nm的二氧化硅粒子的研磨液对玻璃基板的主表面进行研磨的工序。
4.一种磁记录介质用玻璃基板,是在中央部具有圆孔的圆盘形状的磁记录介质用玻璃基板,
所述磁记录介质用玻璃基板的主表面在测定波长40~200μm时的表面波纹度Wa为0.06nm以下,且在测定波长200~1250μm时的表面波纹度Wa为0.08nm以下。
5.根据权利要求4所述的磁记录介质用玻璃基板,其中,所述主平面在测定波长1250~5000μm时的表面波纹度Wa为0.13nm以下。
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