[发明专利]去除PECVD装置的电荷的系统及其控制方法

权利要求书

1.一种去除PECVD装置的电荷的系统，其特征在于，包括：

PECVD腔室，所述PECVD腔室具有光源出入口；

光源，用于照射所述PECVD腔室的内壁；

驱动装置，所述驱动装置与所述光源相连，用于驱动所述光源从所述光源出入口进出所述PECVD腔室；

挡板，所述挡板位于所述PECVD腔室的内壁的一侧，用于开闭所述光源出入口；

控制器，所述控制器分别与所述光源，所述驱动装置和所述挡板相连，用于在通过所述驱动装置控制所述光源进入所述PECVD腔室时，控制所述挡板打开所述光源出入口并控制所述光源照射所述PECVD腔室的内壁，以及在所述光源移出所述PECVD腔室时、控制所述挡板关闭所述光源出入口。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述驱动装置具体包括：

波纹管，所述波纹管通过支撑杆与所述光源相连；

步进电机，所述步进电机与所述波纹管相连，用于通过所述波纹管驱动所述光源移动。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述驱动装置通过接口与所述PECVD腔室侧面的光源出入口连接。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述挡板的材料与所述PECVD腔室的内壁的材料相同。

5.根据权利要求1-4任一项所述的系统，其特征在于，所述光源为紫外光源。

6.一种如权利要求1-5任一项所述的去除PECVD装置的电荷的系统的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

控制所述挡板开启；

在所述挡板开启后，控制所述光源点亮并通过所述光源出入口进入所述PECVD腔室以利用所述光源照射所述PECVD腔室的内壁以去除所述PECVD腔室的内壁上的电荷；

在对所述PECVD腔室的内壁的照射达到预设条件后，控制所述光源移出所述PECVD腔室；

控制所述挡板关闭以便所述PECVD腔室进入工艺模式。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述挡板安装在所述PECVD腔室的内壁的一侧。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述挡板的材料与所述PECVD腔室的内壁的材料相同。