[发明专利]一种校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法

权利要求书

1.一种校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法，其特征在于：定义选择的校准样品表面为分形表面，使用校准设备(AFM)原子力显微镜在不同测量范围对分形表面测试结果对数坐标下的功率谱密度(PSD)曲线进行线性拟合，该拟合直线作为校准光学表面轮廓仪的定标直线。

2.根据权利要求1所述的校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法，其特征在于：原子力显微镜可以测试出符合分形表面规律的功率谱密度(PSD)曲线。

3.根据权利要求1所述的校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法，其特征在于：根据分形表面的定义和性质，在不同空间频率范围下分形表面对数坐标下功率谱密度(PSD)曲线满足的规律是一致的。

4.根据权利要求1所述的校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法，其特征在于：用校准设备(AFM)对分形表面测试后，将不同测试范围下对数坐标的功率谱密度(PSD)曲线的拟合线作为标准直线对被校准的光学表面轮廓仪进行定标。